椭圆计（膜厚测定多层膜解析光弾性测定）　M-series-仪表网

公司介绍主营产品

沈阳佳士科商贸有限公司是JASCO日本分光株式会社在中国地区的办事处。设立于2015年，主要负责JASCO日本分光株式会社制分析仪器在中国区域销售及相关事务，仪器主要包括，光谱仪：傅立叶变换红外光谱仪FT/IR，激光拉曼光谱仪Raman，紫外/可见/近红外分光光度计UV-Vis/NIR，圆二色光谱仪CD，荧光光谱仪FP，全自动数字旋光仪等，色谱仪：超高压液相色谱仪X-LC,高效液相色谱仪HPLC，超临界萃取/色谱仪SFE/SFC，实验室管理，试剂耗材等。公司致力于为客户提供专业的实验室整体解决方案，覆盖分子生物学、细胞生物学、生物工艺、微生物学、材料科学、等领域。客户涵盖政府检验检疫、药检、质检、疾控中心、大型企业、研究部门、医院、高校、等。　　公司技术团队拥有良好经验的高学历人员组成；销售团队由一批毕业于各高等院校或从事过实验室工作的、有着良好行业经验的人员组成；售后服务团队由经过厂家严格专业培训并有多年维修服务经验的维修工程师组成。　　秉着"为客户提供专业、周到的服务，一切以客户为依归"的宗旨，也本着取之于社会回馈于社会的精神，为各行业提供更丰富、更专业、更*的服务。

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椭圆计（膜厚测定多层膜解析光弾性测定）　M-series

椭圆计（膜厚测定多层膜解析光弾性测定）　M-series 产品详情

椭圆率计 （测量膜厚 多层膜解析 测量光弹性）　M-series

▼概要
日日本分光制的椭圆计配有日本分光产的PEM双重锁定方式和光伺服・光参考方式，实现高速性和高安定性。由于偏光素子的轴配置适合特别薄的膜和微小的偏光测量，所以主要用于向高集积化和高精细化发展的半导体及高机能光学薄膜等材料的评价。
◆规格
▼M-210/220/230/240/550/ELC-300

型号	M-210	M-220	M-230	M-240	M-550	ELC-300
测量方法	PEM双重锁定方式、光伺服/光参照控制方式
分光器	-	双单色器自动波长驱动装置		双单色器（260～900nm）单单色器（900～1700nm）自动波长驱动装置	单单色器自动波长驱动装置	双单色器自动波长驱动装置
测量波长	He-Ne激光 (632.8nm)	He-Ne激光(632.8nm) Xe光源 (260～860nm)	He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (240～700nm)	He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (26～900nm) 卤素灯 (900～1700nm)	Xe光源 (350～800nm)	He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (260～860nm)
入射角范围	40゜～ 90゜连续自动设定（0.01゜间隔）				45゜～ 90゜连续自动设定（0.01゜间隔）	40゜～ 90゜连续自动设定（0.01゜间隔）
膜厚测量范围	0～99999Å
测量时间	1msec以上					20μsec～16sec
测量准确度^*	屈折率　±0.01
	膜厚　±1Å
	消衰係数　±0.01
	*准确度是指测量时间100msec以上。另外、根据表面状态、膜质不同准确度也不同。
样品室	样品垂直放				样品水平放	样品垂直放
检测器	检光子（Glan-Taylor棱镜）紫外可见区域：光电子倍増管　近红外区域：InGaAs-PIN光电二极管（M-240）

▼软件

主机标准

1.时间变化测量
2.膜厚测量
3.Δ-Ψ模拟
4.光谱测量・解析^*1
5.诱电率计算^*1
6.反射率计算^*1
*1 M-210型号不是分光型不可使用

选项程序

1. 映射测量（自动X-θ带映射台）
2.多层膜解析^*2
3.多入射角测量
4.灵敏度模拟^*2
5.波长Cauchy光谱^*3
6.椭圆率测量・解析、测量波长固定复屈折（带异方性解析台）^*3
7.测量3次元屈折率（需要异方性解析台）^*3
8.测量光弾性定数（带光弾性测量用透过台）^*3
*2 M-210不是分光型的不能使用
*3 M-550不能测量透过不能使用。

◆规格
▼M-210/220/230/240/550/ELC-300

型号	M-210	M-220	M-230	M-240	M-550	ELC-300
测量方法	PEM双重锁定方式、光伺服/光参照控制方式
分光器	-	双单色器自动波长驱动装置		双单色器（260～900nm）单单色器（900～1700nm）自动波长驱动装置	单单色器自动波长驱动装置	双单色器自动波长驱动装置
测量波长	He-Ne激光 (632.8nm)	He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (260～860nm)	He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (240～700nm)	He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (26～900nm) 卤素灯 (900～1700nm)	Xe光源 (350～800nm)	He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (260～860nm)
入射　角范围	40゜～ 90゜连续自动设定（0.01゜间隔）				45゜～ 90゜连续自动设定（0.01゜间隔）	40゜～ 90゜连续自动设定（0.01゜间隔）
膜厚测量范围	0～99999Å
测量时间	1msec以上					20μsec～16sec
测量准确度^*	屈折率　±0.01
	膜厚　±1Å
	消衰係数　±0.01
	准确度是指测量时间100msec以上。另外、根据表面状态、膜质不同准确度也不同*。
样品室	样品垂直放				样品水平放	样品垂直放
检测器	检光子（Glan-Taylor棱镜）紫外可见区域：光电子倍増管　近红外区域：InGaAs-PIN光电二极管（M-240）

▼软件

主机标准

1.时间变化测量
2.膜厚测量
3.Δ-Ψ模拟
4.光谱测量・解析^*1
5.诱电率计算^*1
6.反射率计算^*1
*1 M-210型号不是分光型不可使用

选项程序

关键词：光电二极管标准

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