紫外臭氧清洗机

电源：220V；

灯管：特殊格册状灯管（进口石英材料），250W，寿命5000小时；

主要工作光谱：185nm+254nm

有效清洗面积：6、8、10、12、16英寸（可选择其中一种）

清洗时间控制器：0-99.99小时或分钟；

寿命计时器：计算灯管使用寿命；

照射高度： 20-100mm，可通过托盘四边螺母调节高度;

UV ON/OFF指示，异常指示/警报;

灯管预热：具灯管预热提示功能，15分钟;

排风功能：自带抽风系统，可调节风速，8cm直径出风口，配置风管及铝胶带

应用领域

■在进行薄膜沉积之前*行基片清洗。清除浮渣和稳定化处理光刻胶。超高真空度密封。

■清洗硅芯片，透镜，反光镜，太阳能面板，冷轧钢，惯性引导零件和 GaAs芯片

■清洁焊剂，混合电路以及平板LCD显示器

■蚀刻特氟隆，氟橡胶以及其它有机材料

■增强GaAs 和Si氧化物钝化表面

■增强玻璃的除气作用

■基片蓝膜去除

■增强塑料表面的镀膜的粘附性

■基片终测后墨迹清楚

■去除光刻胶

■平板显示器/液晶显示器

■去除光刻机台上的光刻胶残留物

■在电路板封装和打片之前清洗）

■光纤

■增强表面亲水特性

■为生物科学应用做清洗和消毒

■光学透镜

■其它应用