概要
搭载采用了冷却检测方式的流量传感器
特征
- 通过采用数字回路，实现了高精度?高速响应。
- 可以进行微升以上的微小流量控制。
- 可以进行低沸点液体材料、高粘度液体材料的精密流体控制。
- 超洁净类型
规格
名称 | 质量流量计 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
型号 | LF-F20M-A | LF-F30M-A | LF-F40M-A | LF-F50M-A | LF-F60M-A |
全标度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
检测控制范围 | 5?99% F.S. | ||||
对象液体种类 *1 | 可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。 | ||||
液体粘度 *2 | 值. 0.1 Pa·s (100cp) | ||||
精度 *3 | ±1% F.S. | ||||
直线性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
重复性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
响应精度 | 3秒以内 (T98) | 2秒以内 (T98) | |||
使用环境温度 *4 | 5?50℃ (15 ? 45℃精度的确保) | ||||
温度影响 Span | ±0.1%F.S./℃ 值±1% | ||||
工作差压值值 *5 | 值. 5MPa (视为流量计) / 50?300kPa (with piezo 控制阀) | ||||
耐压 | 10MPa (视为流量计) | ||||
压力损失 | 值. 500Pa | ||||
流量设定信号 | 模拟：0.25?5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议) | ||||
流量输出信号 | 模拟：0?5 VDC(最小负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议) | ||||
驱动电源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部泄漏规格 | 5×10-12Pa·m3/s (He) | ||||
接液部材质 | SUS316L, Ni | ||||
标准接头 | 1/16” ， 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型 | 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型 | 1/4” SWL类型 1/4” VCR 类型 | ||
名称 | 质量流量控制器 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
型号 | LV-F20 (PO/MO) | LV-F30 (PO/MO) | LV-F40 (PO/MO) | LV-F50 (PO/MO) | LV-F60 (PO/MO) |
全标度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
检测控制范围 | 5?99% F.S. | ||||
对象液体种类 *1 | 可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。 | ||||
液体粘度 *2 | 值. 0.01 Pa·s (10cp) | ||||
精度 *3 | ±1% F.S. | ||||
直线性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
重复性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
响应精度 | 3秒以内 (T98) | 2秒以内 (T98) | |||
使用环境温度 *4 | 5?50℃ (15 ? 45℃精度的确保) | ||||
温度影响Span | ±0.1%F.S./℃ 值±1% | ||||
工作差压值 *5 | 0.05?0.3MPa | ||||
耐压 | 1MPa | ||||
压力损失 | ー | ||||
流量设定信号 | 模拟：0.25?5 VDC(输入阻抗1MΩ以上) 数字式：RS485(F-Net通信协议) | ||||
流量输出信号 | 模拟：0?5 VDC(最小负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议) | ||||
驱动电源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部泄漏规格 | PO 类型：1×10-8Pa•m3/s (He) MO 类型： 5×10-12Pa•m3/s (He) | ||||
接液部材质 | PO 类型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA MO 类型： SUS316L，Ni | ||||
标准接头 | 1/16” ， 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型 | 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型 | 1/4” SWL类型 1/4” VCR 类型 | ||
*1： LF-F/LV-F系列质量流量控制器利用1种液体进行了流量校正 (请预先所使用 的液体。)
?不能检测含有固体物的液体。
?如果混合液中混合比会发生变化时，请预行咨询协商。
?LV-F系列质量流量控制器如果在对象液体中含有粒子等时，请在一次端(入口端) 安装0.2μm(Abs.)以下的过滤器。
*2： LF-F类型质量流量控制器根据流量量程，可以适用到 值， 0.1Pa•s。有关高粘度的液体请预行咨询协商。
*3： 以SEMI E56-1296 为准。
*4： 进行测量?控制的液体温度如果低于环境温度时，使用时请把温差控制在10℃以 内；如果高于液体温度时，使用时请把温差控制在3℃以内。
*5：这是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。
