高温数字式质量流量控制器
HORIBA高温质量流量控制器 SEC-8460F SEC-8450F SEC-8460F/D/E 系列可在 15℃ 至 120℃ 的高温环境下工作,用于半导体和化合物半导体加工在内的各种工作任务。
事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
HROBA STEC 高温质量流量控制器 SEC-8440F SEC-8450F SEC-8455F SEC-8460F SEF-8440F SEF-8450F SEF-8455F SEF-8460F SEC-8470F SEC-8440D SEC-8450D SEC-8455D SEC-8460D SEC-8470D
Analog (0 - 5 VDC) /Digital (RS-485 F-NET)DeviceNET™EtherCAT®NoNoNoSwagelok, VCRMetalPiezo electric - Normally closedand normally openMount-free5 SCCM - 150 SLM15 - 120°CS