干式氦气检漏仪 UL1000 Fab
ULTRATEST™ 传感器技术
稳定性和灵敏度的新疆界，
检漏低达 10 -12 atm/css
The INFICON UL1000 Fab 移动式氦气检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性，UL1000 Fab 在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。
通过结合较高氦气抽气能力和高进气口压力的真空结构，UL1000 Fab 提供的的泄漏率低达 < 5x10-12 atm cc/s。专利软件 I-CAL（智能泄漏率计算法）让您忘记在低泄漏率范围检漏时较长反应时间的烦恼，因为 UL1000 Fab 能够对所有泄漏率范围做出快速响应。
使用额外的 TC1000 测试盒配件，UL1000 Fab 氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、精确的测试，如 IC 封装、石英晶体和激光器二极管（根据 MIL-STD 883，方法 1014）。
功能
· 15 级的宽测量范围
· 较短的抽气和响应时间
· 移动式全金属外壳，增加了便利性，具有可操作性
· I-CAL 确保了在所有测量范围中提供的泄漏响应时间
· 抑零功能和自动积分时间校正，可提供快速、可靠的测试结果
· 含坚固耐用涡旋泵和多入口涡轮分子泵的智能型真空设计，提供较高氦气抽气能力和高压缩比
· 旋转式显示器和用户界面允许简单、轻松控制装置以及与其进行交互
· 自保护功能可防止 UL1000 Fab 氦气检漏仪受到氦气和微粒的污染
· 自动吹扫循环可确保清理并随时可进行测试
· 通过电子邮件进行软件更新
· 含两个灯丝离子源（3 年质保）的耐用质谱系统确保了较长的运行时间和较低的维护成本
· 内部校准用的内置测试漏孔确保了精确的测试结果
典型应用
· 对半导体加工工具执行维护作业，无论是否具有自有泵支持
· 需要较高抽气能力、高灵敏度和清洁测试条件的应用
· 在现有工具中安装前对部件执行检漏
· 工艺气体系统的检查和安装
· 内置软件菜单“自动测漏”功能可使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试
