INFICON（英福康）真空规/真空计
B-A 型皮拉尼电容膜片真空计
TripleGauge® BCG450
INFICON B – A 型皮拉尼电容薄膜真空计，BCG450，将三种不同的真空计
组合在一个小型，经济的真空规管中，测量过程压强和基本压强 5 x 10-10
** 1500 毫巴 （3.75 x 10-10 ** 1125 乇）. BCG450 用于取代三种传感器
（热离子，对流增强型皮拉尼和真空开关），从而节省成本和宝贵的工具空间.
优势
■ BCG450 节省成本和设备空间，降低真空测量的安装与设置的复杂性
■ 10 乇以上的与气体类型无关的压强测量，对许多混合气体提供****的 自锁控制
■ 皮拉尼联锁保护热灯丝，防止过早烧毁
■ 自动的高真空和**压皮拉尼调整，无需操作人员干预
■ 相对于**压的差压测量，免除了与**压变化有关的不稳定性
■ 传感元件容易**换，内置校准数据保证数据的再现性
■ 可选图形显示器和 Fieldbus 接口
用途
■ 半导体工艺，传送和自锁室的压强测量
■ 工业镀膜
■ 低****高真空范围中系统的一般真空测量和控制
