低压等离子清洗机 Diener NENO系列
低压等离子技术，气体在真空中通过获取能量从而被激发。等离子由高能离子、高能电子以及其它反应粒子组成。由上，材料表面可以被有效的改变。等离子效应可分为以下三类：
一微砂喷射：材料表面通过离子轰击被消减
二化学反应：材料表面与离子化的气体发生化学反应
三紫外线放射：紫外射线将长链碳化合物分解
NANO多种配置，*不同客户需求
VERSION A | VERSION C |
VERSION D |
VERSION B |
VERSION E |
Nano 等离子系统能够以不同的形式进行整合，例如以模块系统的形式。在下文中您可以大致了解能够与 Nano 等离子系统一同使用的见的选装件： Nano 等离子系统主要应用于以下领域：
分析
考古
汽车行业
研究和开发部门
半导体技术
小批量生产
塑料技术
医疗技术
微系统技术
传感器
灭菌
纺织技术
技要参数：
Nano系列 | |
控制系统 | 半自动型 PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE) PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
体积 | 18~36L |
真空腔室 | 圆形不锈钢件，配有盖子 矩形不锈钢件，配有铰链的门 配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门 配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门 配有盖子的圆形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门 |
电极 | 单层或多层 RIE |
样品支架 | （选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃 |
气源 | 针型阀 质量流量控制器 (MFCs) |
压力计 | Pirani Baratron（适用于腐蚀性气体版本） |
计时器 | 数字型 |
高频电流发生器 | 40 kHz: 功率 0 - 300 W；0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 600 W 所有发生器均为 0 - 99% 无级可调型 |
真空泵 | 规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要） |
电源 | 台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位 |
其他选项
备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、 氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。
