pgaTOF过程气体分析仪-仪表网

公司介绍主营产品

TOFWERK成立于2002年，总部位于瑞士图恩市。TOFWERK是一家集飞行时间质谱仪（TOFMS）的研发、生产、销售和服务于一体的分析仪器公司，致力于为实验室检测和外场监测提供多选择的仪器分析方案。目前，公司的主要产品包括Vocus质子转移反应-飞行时间质谱（Vocus PTR-TOF），化学电离-飞行时间质谱（CIMS-TOF），电感耦合等离子体-飞行时间质谱(icpTOF)，离子淌度-飞行时间质谱（IMS-TOF）和可搭配气相色谱的电子电离-飞行时间质谱（EI-TOF）等。

经过近20年的发展，TOFWERK公司在真空系统设计、高速数据采集软硬件、数据处理展示软件和飞行时间质谱分析仪等领域取得了显著的技术突破、并获得了广泛的市场认可。依托公司*的工业设计和生产平台，使得新型仪器从图纸设计到快速量产得以实现，能为不同行业研究实验室和广大仪器厂商的分析需求提供量身定制的解决方案。

针对痕量挥发性有机物（VOCs）的定点和移动监测这两大应用， Vocus离子源聚焦设计，使得Vocus PTR-TOF质谱仪的分辨率和灵敏度均比传统的PTR质谱仪有了较大的提升。型号Vocus PTR-TOF 2R凭借高达15000 M/ΔM的质量分辨率，在2017年推出后，受到了大气化学领域科研用户的欢迎，目前国内外安装量已超过40台，订单超50单。

· 国外科研客户包含美国环保署EPA，加州南海岸空气质量管理局，美国国家海洋和大气管理局，德克萨斯大学，科罗拉多大学，加州大学伯克利分校，威斯康星大学，加拿大多伦多大学，墨西哥国立自治大学，挪威奥斯陆大学，德国马普所（Mainz），国立新加坡大学，英国曼彻斯特大学，东英吉利大学，法国IRCELYON研究所，法国国家工伤事故与职业病预防INRS研究所，芬兰赫尔辛基大学，瑞士伯尔尼大学，韩国科学技术研究院，韩国电力公社，印度热带气象研究所等。

· 国内科研客户包含北京大学，清华大学，北京化工大学，复旦大学，上海交通大学，上海环境科学研究院，中科院西安地化所，中科院生态中心，香港环保署，澳门大学等。

为了更好地服务国内客户，TOFWERK于2019年成立全资中国子公司：南京拓服工坊科技有限公司。分公司现有博士两名，硕士三名，有较好的大气监测领域的技术和经验积累，将秉承TOFWERK一贯的创造性和优质服务精神，致力于为亚太区的客户提供无时差的优质售后和技术咨询等服务。

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产品简介在线询价

提供半导体关键制程中气体组分的高灵敏度实时分析半导体研发和制造中干湿蚀刻，薄膜沉积和光刻制程中间气体分析仪

pgaTOF过程气体分析仪产品详情

pgaTOF过程气体分析

pgaTOF质谱仪通过目标气体分析，致力于关键半导体应用运行条件监控和调整优化

适用于多种半导体应用场景反应器健康状态（RHS）监控，反应终点监测，等离子体诊断和过程优化

快速灵敏质谱监控技术飞行时间（TOF）质谱分析仪以‘亚’秒级采集效率进行全物种全谱检测

宽动态响应范围瞬时全谱检测制程反应过程中所有前体物，中间和最终产物以及其他杂质。

高可靠性，高移动性灵活且结实的仪器设计和装保证了在挑战性运行环境下的高精度和便携性

长期稳定性精确且高重复性的仪器响应

强大分析软件易上手的操控界面，功能齐全的系统集成API接口

‘陷波’技术有效压制仪器背景信号精确衰减特定信号值，减少对有效信号干扰

pgaTOF性能指标

	抗腐蚀版本*	任意方向安装及运行	质量分辨率 M/ΔM	灵敏度 cps/ppb	检测限 ppb/s	尺寸 kg \| cm
pgaTOF 2R	yes	yes	8000	>10	<1	160 \| 148 x 48 x 62
pgaTOF R	no*	yes	4000	>10	<1	85 \| 90 x 40 x 53
pgaTOF S2	yes	yes	800	>10	<1	93 \| 112 x 47 x 47

抗腐蚀版本*

任意方向安装及运行

质量分辨率

M/ΔM

灵敏度
cps/ppb

检测限
ppb/s

尺寸
kg | cm

pgaTOF 2R

yes

8000

>10

160 | 148 x 48 x 62

pgaTOF R

no*

yes

4000

>10

85 | 90 x 40 x 53

pgaTOF S2

yes

800

>10

93 | 112 x 47 x 47

*corrosion resistant version readily available

关键词：质谱仪

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