性能和规格

外形尺寸

应用领域

• 半导体和平板显示器制造
• LED制造
• 镀膜设备
• 制冷设备和空调的元件及部件
• 低温压力容器
• 阀门气密性
• 捡漏航空部件，配件及系统

而且，TMP-5305系列具有5300 L/s的高级别气体吞吐和抽气速度，预计可用于下一代450 nmm半导体晶圆加工。
岛津制作所半导体仪器事业部涡轮分子泵BU R&D小组BU长太田知男表示：“目前，我们在磁悬浮TMP领域已经占领了30 %的*。”“岛津TMP在的普及反映了我们为满足不断变化的行业需求而提供的创新设计和技术支持的历史。”
事实上，岛津TMP的原型是为了用于位于神户的日本快速的超级计算机设计而成的。太田知男说：“岛津工程师使用了建模技术来模拟TMP性能。”“我们所有的商用TMP系统均在岛津内部制造完成。通过这种方式，我们确保了产品的质量和性能。”

在需要超高真空的真空工业和分析科学应用中，TMP的性能必须满足严格的要求。TMP-B300是一款低功率、紧凑型涡轮分子泵，高度为195毫米，带有一体式控制器，可在空间受限的环境中垂直、倒置或水平安装。本设备允许1000 Pa的高前级压力以支持隔膜泵等小型前级泵。
此外，本设备还配备了易用型集成控制面板，在约280 L/s的抽速下，仅以180 W的低功耗工作。

1179A01312CR1BV-K [ MKS ]

质量流量控制器 1179A01312CR1BV-K，气体：N2，范围：100SCCM，类型：VCR，D-SUB 15P

1479A01353CR1BM [ MKS ]

质量流量控制器 1479A01353CR1BM，气体：N2，范围：5SLM，类型：VCR

649A12T51CAVR-S [ MKS ]

质量流量控制器 649A12T51CAVR HE 50SCCM, 100Torr SPCAL

649A-14943S [ MKS ]

质量流量控制器 649A-14943S HE 50SCCM VCR 15P 50Torr / SPF 1013

P8A-26808 [ MKS ]

质量流量控制器 MV-1242-PV H2O 3G/MIN VCR

DLT2A2231A1P210 [ MKS ]

质量流量控制器 DLT2A2231A1P210 N2 2SLM VCR 9P