大面积多晶光学金刚石窗口解决方案-仪表网

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上海续波光电技术有限公司是一家专业从事高性能薄膜沉积及处理设备、光电材料、光学软件等产品进口的技术贸易服务型公司，公司至今已与欧美、日本等国家的十余家企业建立了战略合作关系；目前服务于国内从事微电子、半导体、光学、纳米技术等领域的研究所和大学。主要产品包括：溅射、蒸发镀膜仪、离子减薄仪、刻蚀机、等离子处理设备、CVD金刚石沉积设备、激光辅助化学束沉积设备，红外窗口材料、各种功能CVD金刚石产品，光学设计、激光仿真、BSDF/BRDF测量仪、电磁场模拟仿真及测量仪器等模拟设计软件等。

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我公司提供大面积多晶光学级金刚石窗口（100-150mm）解决方案：步：生长1.衬底准备，包括：选材、衬底表面处理、晶种及相关工艺2.生长控制：采用CVD设备，将准备好的衬底放入样品台，在适当的工艺条件下生长（控制功率、气压、流量、衬底温度、生长时间）

大面积多晶光学金刚石窗口解决方案产品详情

我公司提供大面积多晶光学级金刚石窗口（100-150mm）解决方案：

步：生长

1. 衬底准备，包括：选材、衬底表面处理、晶种及相关工艺

2. 生长控制：采用CVD设备，将准备好的衬底放入样品台，在适当的工艺条件下生长（控制功率、气压、流量、衬底温度、生长时间）。

3. 生长完成：在获得设定的厚度后停止生长

可获得光学级（透过率＞68%@10.6μm）、大面积（直径100-150mm）、厚片（1.2-2mm）

第二步：抛光

采用专门的抛光设备+特制抛光液进行研磨、磨平、抛光。

可获得：1) 单晶表面粗糙度1nm，平整度0.2波长；2）多晶窗口表面粗糙度20-50nm，平整度0.2波长。

第三步：切割

采用专用激光切割机，可获得长方形、三角形、圆片等规则高精度形状光学元件。

第四步：镀膜

采用多种物理气相沉积手段，可以实现高品质增透膜。

可获得：1）透过率>90% (1064nm)；2）透过率>96%（10.6μm）

欢迎感兴趣客户单位或个人联系我们！

关键词：切割机

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