金属薄膜制备专用热蒸镀镀膜系统-仪表网

公司介绍主营产品

上海续波光电技术有限公司是一家专业从事高性能薄膜沉积及处理设备、光电材料、光学软件等产品进口的技术贸易服务型公司，公司至今已与欧美、日本等国家的十余家企业建立了战略合作关系；目前服务于国内从事微电子、半导体、光学、纳米技术等领域的研究所和大学。主要产品包括：溅射、蒸发镀膜仪、离子减薄仪、刻蚀机、等离子处理设备、CVD金刚石沉积设备、激光辅助化学束沉积设备，红外窗口材料、各种功能CVD金刚石产品，光学设计、激光仿真、BSDF/BRDF测量仪、电磁场模拟仿真及测量仪器等模拟设计软件等。

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型号：MEB450S

金属薄膜制备专用热蒸镀镀膜系统产品详情

型号：MEB450S，产地：欧洲，应用：沉积金属薄膜

蒸镀腔体：高600mm、宽450mm、深450mm

热蒸镀源：6个热蒸镀源

样品台：可加载4×60mm衬底

衬底旋转：10 rpm

衬底加热：热阻丝加热可达300℃

采用热电偶控温

厚度控制：采用石英晶振膜厚控制仪

衬底清洗及刻蚀：

配备直流离子枪

Ar、N2气路用于反应离子束刻蚀

刻蚀不均匀性±4% @ 60mm晶圆

离子枪到衬底距离为300mm

控制系统：全自动控制，半自动和手动模式可用

支持多级用户权限设置和管理

支持设备远程操作、监控、诊断和维护

系统自动报警及定位故障

若对我们的设备感兴趣，欢迎联系我们！

关键词：热电偶控制系统

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