美国艾利凯特氢气过程量质量流量控制器
性能
可用量程:0-1000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
可调比:200:1(MC系列)
标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
可重复性:0.2%满量程
标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
无需预热时间
配件(需另行订购)
过程端口接头和过滤器
电源
通讯线缆和转换线缆
BB3和BB9多点式集线盒
Flow Vision软件