B1505A 功率器件分析仪 曲线追踪仪是一种单机解决方案，它具有在10kV 和 1500A 条件下精确评估和表征功率器件的下一代曲线追踪仪功能。B1505A 能评估所有类型的功率器件，其优异的性能特性包括宽电压和电流范围，快脉冲能力 ( 10μs ) ，μ Ω级导通电阻测量分辨率，以及亚 pA 级电流测量能力。此外，它的示波器观察功能还可对脉冲波形进行视觉验证。每个通道上配备的两个独立的模数( A / D )转换器支持 2 μs 采样率，能够对有可能影响器件特性的
关键计时进行精确监测。它也能在高电压偏置 ( 达3000V )下进行电容测量。带 EasyEXPERT 软件的 B1505A 包括将熟悉的曲线追踪仪测量功能与方便的 PC 基仪器相组合的曲线追踪仪工作模式，传统曲线追踪仪用户能很快掌握该仪器的操作。对于测量功率器件和电源电路，该仪器更便于使用，有更好的数据分析能力，同时也简化了对测量数据的管理。
● 进行宽范围的 IV 测量
● 达 10 kV/1500 A
● 大的峰功率: 22.5 kW
● 高压偏置下的中电流测量
(即 500 mA, 1200 V 下)
● μΩ 电阻测量
● 亚 pA 泄漏测量
● 进行高电压偏置的 CV 测量
● 脉冲测量 (≥ 10 μs)
● 温度测量
● 易于使用的 EasyEXPERT 测试环境
● 曲线追踪仪测试模式
● 示波器观察方式
● 模块化配置, 有 10 个用于支持模块
的插槽
● 多种适用 SMU 类型 : HPSMU,
MPSMU, HCSMU, MCSMU 和 HVSMU
● 多频电容测量单元 (MFCMU)，
(1 kHz 至 5 MHz)
● 适用于封装测试和圆片测试的标准
附件: 测试夹具, 模块选择器和
高压偏置三通
● 主机随带 4.2 A 接地单元
● 用于仪器控制的 GPIB 端口
● 自测, 自校, 自诊
指标条件
规定的测量与输出精度需符合下列条件。注: SMU 的测量和输出精度规定为在 SMU 连接端处, 用检零端作参照。
1. 温度: 23°C ± 5°C
2. 湿度: 20% 至 70%
3. 要在 40 分钟预热后进行自校
4. 在自校后, 环境温度变化需小于
±1°C (注: 不适用于 MFCMU)
5. 在自校后一小时内进行测量
(注: 不适用于 MFCMU)
6. 校准周期 : 一年
7. SMU 积分时间设置 : 1 PLC (1 nA 至
1 A 量程, 电压量程), 200 μs (20 A
量程) 高速模数转换器平均;
每 1 PLC 为 128 采样样本
8. SMU 滤波器 : 开 (对于 HPSMU 和
MPSMU)
9. SMU 测量端连接:开尔文连接(对于 HPSMU, MPSMU, HCSMU 和MCSMU), 非 Kelvin ( 对于 HVSMU )注: 本文列出了 B1505A 及其模块的技术指标和补充特性。技术指标是对 B1505A 和相关模块的测试标准。出厂的 B1505A 及任何相关模块均符合技术指标要求。技术指标之后的“补充”特性不是保证的指标，而是提供仪器功能和性能的有用信息。
注: 当您在 B1505A 主机中安装或更换模块时，Agilent 保证这些模块的功能性，模块是按技术指标进行的设计。但如果您要求模块达到技术指标，则必须对仪器进行校准。
支持的插入模块
B1505A 支持 10 个模块插槽
部件号说明占用插槽工作范围测量分辨率
B1510A 高功率源监视单元 (HPSMU) 2 -200 V 至 200 V, -1 A 至 1 A 2 μV, 10 fA
B1511A 中功率源监视单元 (MPSMU) 1 -100 V 至 100 V, -100 mA 至 100 mA 0.5 μV, 10 fA
B1512A 大电流源监视单元（HCSMU） 2 -100 V 至 100 V, -1 A 至 1 A
-20 V 至 20 V, -20 A 至 20 A (脉冲)
200 nV, 10 fA
B1513B 高压源监视单元 (HVSMU) 2 -3000 V 至 3000 V, -4 mA 至 4 mA
-1500 V 至 1500 V, -8 mA 至 8 mA
200 nV, 10 fA
B1514A 中电流源监视单元 (MCSMU) 1 -30 V 至 30 V, -100 mA 至 100 mA
-30 V 至 30 V, -1 A 至 1 A (脉冲)
200 nV, 10 pA
B1520A 1 多频电容测量单元 (MFCMU) 1 1 kHz 至 5 MHz 0.035 fFrms 2
1. B1505A 不支持 N1300A-100 SMU CMU 统一单元 (SCUU)。
2. 10 pF 电容器接到测量端时, 在下列测量条件下有效: 1 MHz 频率, 信号电平 250 mV AC, 测量时间 1 PLC。在 6 位显示时, 1 fF 量级的显示分辨率为 0.000001 fF。
