针对高温微纳米压痕测试技术研究现状和存在问题，因赛图利用自主开发的集闭环控制、温度检测控制、精密驱动以及大行程压痕驱动等技术于一体的商业化高温微纳米压痕测试仪器，如图1所示，高温微纳米压痕测试曲线如图2所示。
图1 ：高温微纳米压痕测试仪 图2：高温微纳米压痕测试曲线
测试数据：
图1（a）是利用高温微纳米压痕测试仪对熔融石英开展了压痕响应的测试研究，结果发现：随着温度的升高，熔融石英的硬度逐渐降低，而弹性模量呈现上升趋势。
图1（b）利用高温微纳米压痕测试仪对GH1131合金开展了压痕响应的测试研究，结果发现：GH1131 高温合金的硬度和模量均有所降低。
特点：
采用压电致动器的载荷装置保证测量的精确度 压电致动器作为压痕测试的精密驱动加载，可大行程压痕驱动 压痕测试模块具有良好的重复性和测试精度 载荷加载范围可实现1N ～ 200N载荷的加载 温度加载范围可实现0℃ ～ 1200℃的变温加载 温度控制精度可达到±1℃ 使用高温炉给压头和试件同时加热，保证二者温度尽可能一致，减小温度漂移对位移测量的影响 配备控制主机，专用检测控制系统与配套分析处理软件 软件包括测试过程中实时测量载荷和位移值、生成载荷位移曲线等 可测量压入载荷-压入深度曲线、残余压深、压深、材料硬度、弹性模量、断裂韧性、接触刚度等基本参量 可选高温加热腔
技术指标：
力载荷量程：10N、44N、200N（系列） 力分辨率：1mN（常温）、4mN（高温）；9mN（常温）、20mN（高温）；50mN（常温）、200mN（高温）（系列） 位移量程：200μm、500μm（系列） 位移分辨率：0.03μm（常温）、0.08μm（高温）；0.09μm（常温）、0.25μm（高温）（系列） 高温温控范围：300℃ ～ 1200℃ 压痕深度：≥ 30μm 有效使用面积：直径为35mm的圆面积 位移测量：电容位移传感器 加载模式：压电力加载 样品尺寸：毫米级
