概述
BGV 地下室插板阀是一系列由不锈钢制成，用波纹管密封的地下室隔离阀。它们是与 VAT 协作设计的，可以使泵在前级管线维护期间继续运行，从而使在严苛制程中运行的泵具有高的性和正常运行时间。BGV 阀适用于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar（）(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的工作压力范围。这种阀在任何方向都可以承受 1.2 bar 的压力，并可承受阀密封两侧 1 bar 的差压。
虽然 BGV 阀主要用于隔离半导体工厂地下室内的泵，但这些阀也适用于开启时需要 1 bar 差压并容许 20000 次循环的其他应用场合。
虽然 BGV 阀主要用于隔离半导体工厂地下室内的泵，但这些阀也适用于开启时需要 1 bar 差压并容许 20000 次循环的其他应用场合。
功能和优势
- 与密封 VAT 合作。
- 不锈钢结构，采用获得的设计，使用
- 简单的无油脂机构大程度减少了多尘制程中因微粒导致的损坏
- 可以在 1 bar 差压下运行，因此无需进行压力平衡
- 维修方便，只需要的易耗品，低运行成本
- 表面光滑，易于清洁
- 提供时已安装螺线管和电线，便于订购和安装
- 即插即用，在使用可选的 BGV TIM 接口电缆的情况下与 Edwards 半导体干泵兼容。
数据
| 泄漏值 | |
| 壳体 | < 1 x 10-9 mbar ls-1 |
| 阀座 | < 1 x 10-7 mbar ls-1 |
| 压力范围 | 1 x 10-9 mbar 至 1.2 bara |
| 插板上的压差 | 1.2 bar（在任一方向上） |
| 打开时的压差 | 1 bar |
| **检修前的循环数 | 5, 000 |
| 高工作温度 | |
| 阀体 | 120 °C |
| 手动执行器 | 80 °C |
| 气动执行器 | 80 °C |
| 位置指示器 | 60 °C |
| 螺线管阀 | 50 °C |
| 分子流电导 | |
| NW50 | 300 ls-1 |
| ISO63 | 400 ls-1 |
| ISO80 | 1100 ls-1 |
| ISO100 | 1700 ls-1 |
| ISO160 | 4600 ls-1 |
| 重量 | |
| NW50 | 3.3 kg (7.3 lbs) |
| ISO63 | 6.6 kg (14.6 lbs) |
| ISO80 | 7.0 kg (15.4 lbs) |
| ISO100 | 8.5 kg (18.7 lbs) |
| ISO160 | 17.7 kg (39.0 lbs) |
| 构造材料： | |
| 壳体 | AISI 304 不锈钢 |
| 阀盖 | 黑色阳极化铝 |
| 插板 | AISI 304 不锈钢 |
| 助滑器 | PEEK |
| 波纹管 | AISI 633 不锈钢 |
| 密封件 | 氟橡胶 |
| 插板固定螺钉 | A2 不锈钢 Ni-teflon 镀膜 |
| 手柄 | 强化聚酰胺 |
| 气动阀 | |
| 螺线管阀额定值 | |
| 标准螺线管阀 | 24V - 15%/+ 10%，直流/交流，2.4 W |
| 位置指示器触点额定值 | 12 - 30 V 直流/交流，大 500 mA，大 10 W |
| 气动供气 | |
| 供应压力 | 58 psig（4 bar 压力表压力，5 bar 压力，5 x 105 Pa） |
| 大供应压力 | 100 psig（7 bar 压力表压力，8 bar 压力，8 x 105 Pa） |
| 气动接头 | R1/8 英寸（阀的 1/8 英寸 NPT 在订购） |
