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WGFGT1PR1 美国ENTEGRIS应特格过滤器

参考价
面议
具体成交价以合同协议为准
  • 型号WGFGT1PR1
  • 品牌标准集团/Standard-Groups
  • 所在地无锡市
  • 更新时间2022-08-11
  • 厂商性质经销商
  • 所在地区无锡市
  • 实名认证已认证
  • 产品数量12
  • 人气值417
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这些气体过滤器推荐用于惰性气体和反应性气体,与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性,并且易于安装在狭窄的气体面板和机柜中。 

PTFE 膜提供高效过滤
低压降降低了在较低蒸气压气体中冷凝的风险
与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性
用于惰性和反应性气体,包括臭氧
 应用
Wafergard  II F 微型在线气体过滤器应用
生命科学应用
臭氧应用(气体)
气柜和面板
超纯气体系统
内部流程工具
产品规格
材料
     滤芯
     由模压 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜
住房    电抛光 VAR 316L 不锈钢
下游清洁度     小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/ft 3 ) 大于 0.01 µm 
挥发物    <10 ppb 水分
移除等级    ≥0.0015 µm    
表面处理内部    ≤7 µin Ra    
氦泄漏等级    合格的    2 × 10 -10毫升/秒
经过测试    1 × 10 -9毫升/秒
运行条件     入口压力    207 bar (3000 psig) @ 23°C (73°F)
 正向压差    4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
 
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 工作温度    120°C (248°F)
颗粒保留
     大于 99.9999999% (9 LRV) 在 30 slpm 下去除所有颗粒(参考
穿透性的颗粒尺寸)
流量等级    参考性能数据
零件号
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WG2FT1RR2    1/4" 垫片密封(与 VCR 接头兼容)外螺纹入口/出口    84.1 毫米(3.31 英寸)    半导体
WG2FT1RR2L    1/4" 垫片密封(与 VCR 接头兼容)外螺纹入口/出口    84.1 毫米(3.31 英寸)    生命科学
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