- 产品描述
RTF-PECVD-1200转动式PECVD系统详细介绍：
(1)、表面温度高可达1420℃(2)、表面为不锈钢色（非常亮、客户识别时要注意）、不会生锈，使用时间再长都不会掉渣。(3)、电阻均衡、温场均衡性好
当电路过流或漏电时，空开会自动断开。
OTL1200单温区转动管式炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。2、采用*成型。3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本的热工技术布置、经过热工软件模拟温场4、采用4周加热，温场更加均衡
（全部通过UL认证的进口电器）
RTF-PECVD-1200转动式PECVD系统产品型号规格：
型号 功率 炉管尺寸(mm) 外形尺寸 电源电压 相数 RTF-PECVD-1200-60 3.5KW Dia60(OD)X1400mm 1300X420X1200 220V 单相 加热元件：瑞典Kanthal A1 进口电阻丝 （电阻丝可承诺保修2年）控制方式：采用宇电程序控温仪表（标配）可选配日本导电程序控温仪表1、30段程序控温智能PID调节。2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。3、带有485 通讯接口（选购软件时标配）4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。5、仪表具有温度自整定的功能
控温模式：智能PID 断偶保护和显示:有 过温保护:有 过流保护:有炉膛材料：1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。2、采用*成型。3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本的热工技术布置、经过热工软件模拟温场控制精度：+/- 1 ℃触发器：移相触发电器：浙江正泰可控硅：106/16E 德国西门康温度:1200 ℃额定温度:1100 ℃升温速率:≤20 ℃/ Min （可根据要求修改）推荐升温速率:≤10℃/ Min热电偶型号:K 型加热段长度:400mm真空法兰1、为了增加抽气速率，达到更高真空的要求。可将原有软管接头更换成KF-25接口（VS-0.1和VS高真空系统接口皆为KF25）2、如用于供气系统，可将原有软管接头更换成Φ6.35mm双卡套接头.转动电机功率: 40W电动推杆功率:40W炉子倾斜角度: -10~30度炉管转动速率 :采用无级变速电机 转速可在1-25转/min 之间可调转动密封方式 : 采用转动磁流体密封四周表面温度:≤45℃射频电源（等离子体发生器）
功率输出范围: 0-500W反射功率:10W信号频率:13.56MHZ±0.005%噪声:<30 dB.冷却方式:空气冷却输入电源:208-240V 50/60HZGX供气系统主要参数
流量控制和检测采用
D07-7C质量流量计标准量程：采用质子流量控制器 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择量程和所通气体的类型）工作压力：3MP准确度：±1.5%气压降：<0.01MPa重复精度：±0.2% F.S路数：1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路）接头类型：双卡套不锈钢接头系统工作压力范围：0.1~0.5 MPa工作温度：5-45℃压力真空表表：-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格静态混气室： Dia50 X 400MM接口： Dia6 1/4”VS-0.1抽气系统
电源：220V尺寸：600X600X600波纹管：KF25X1000mm用该系统抽炉管真空度可达：10 -1Pa真空挡板阀：KF25VRD-8真空泵(方案一)
型号：VRD-8极限分压强：5X10-2 Pa进排气接口：KF25电机转速:1440RPM抽气速率:2.2L/S电机功率:0.4KW无油干泵Perfeer ACP15（方案 二）
型号 ACP15电源 100-240V 50/60HZ极限分压强 0.02 Torr进、排气接口 KF25重量 25KG氦气漏率 5 · 10-8 Pa m3/s抽气速率 14 m3/h功率 450W电阻真空计
型号:ZDR-1功率:25W真空度测量范围:0.1-10 5 Pa电阻硅:ZJ-52T瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷电容真空计（选购）
型号:PCG554输入电压:24V 1A DC（配有220V变压器）真空计接口:KF16数字显示:数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr产品尺寸:46mm×28mm×126mm ( L x W x H)重量:5 lbs检测气体:可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好。是否防腐:防腐响应时间:≤30ms测量范围:3.8x10-5 -1125 Torr.GX供气系统主要参数
