半导体制造 生医元件
•光刻胶 •聚合物/聚对二甲苯涂层
•氧化物/氮化物 •生物膜/气泡墙厚度
•硅或其他的半导体薄膜 •植入药物涂层
微机电 液晶显示器
•光刻胶 •间隙高度Cell Gaps
•硅膜 •聚醯亚胺
•氮化铝/氧化锌薄膜滤镜 •透明导电膜