SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器，标准型有两路传感器输入，同时，4路传感器输入可选，具体视用户实际应用而定；双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。在大型系统中，传感器输入可以分配给不同材料，采集的数据通过平均值，以达到更**的沉积控制；也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中，为了延长传感器的使用寿命，速率采集模式允许探头带一个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外，还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。 开启速率和膜厚测量，只需先按住Zero键以**上次读数，然后关闭，打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚度和沉积速率，即使操作人员离监测仪一定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了，档板就会自动关闭，同时前面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中，操作员可以在任意时间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。首先，选“program”键，进入菜单，然后，旋转拨针钮，这样就可以选择或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示，而设定的数据可以在辅助界面中找到。 标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/秒,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/秒的高精型。SQM160另一大优点是在整个工作范围内，温度稳定性可以达到2ppm。高精度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了**的性价比。 ■ 双通道（标准型），四通道可选 QCM传感器输入 标准型: 2;路 可选: 4路 |
