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  • ComBond-自动化的高真空晶圆键合系统(晶圆键合机)

ComBond-自动化的高真空晶圆键合系统(晶圆键合机)

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具体成交价以合同协议为准
  • 型号
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新时间2022-08-17
  • 厂商性质其他
  • 入驻年限1
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  • 产品数量80
  • 人气值338
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应用:高真空晶圆键合平台促进“任何物上的任何东西”的共价键合一、简介EVGComBond高真空晶圆键合平台(晶圆键合机)标志着EVG的晶圆键合设备和技术产品组合中的一个新里程碑,可满足市场对更复杂的集成工艺的需求
ComBond-自动化的高真空晶圆键合系统(晶圆键合机) 产品详情

应用:高真空晶圆键合平台促进“任何物上的任何东西”的共价键合

一、简介

EVG ComBond高真空晶圆键合平台晶圆键合机标志着EVG的晶圆键合设备和技术产品组合中的一个新里程碑,可满足市场对更复杂的集成工艺的需求。EVG ComBond支持的应用领域包括*的工程衬底,堆叠的太阳能电池和功率器件到MEMS封装,高性能逻辑和“beyond CMOS”器件。EVG ComBond系统的模块化集群设计提供了高度灵活的平台,可以针对研发和高通量,大批量制造环境中的各种苛刻的客户需求量身定制。EVG ComBond晶圆键合机促进了具有不同晶格常数和热膨胀系数(CTE)的异质材料的键合,并通过其的氧化物去除工艺促进了导电键界面的形成。EVG ComBond晶圆键合机高真空技术还可以实现铝等金属的低温键合,这些金属在周围环境中会迅速重新氧化。对于所有材料组合,都可以实现无空隙和无颗粒的键合界面以及出色的键合强度。

二、特征

  • 高真空,对准,共价键合
  • 在高真空环境(<5·10 -8 mbar)中进行处理
  • 原位亚微米面对面对准精度
  • 高真空MEMS和光学器件封装原位表面和原生氧化物去除
  • 优异的表面性能
  • 导电键合
  • 室温过程
  • 多种材料组合,包括金属(铝)
  • 无应力键合界面
  • 高键合强度
  • 用于HVM和R&D的模块化系统
  • 多达六个模块的灵活配置
  • 基板尺寸为200毫米
  • *自动化

三、技术数据

  • 真空度

处理:<7E-8 mbar

处理:<5E-8毫巴

  • 集群配置

处理模块:最小3个,6个

加载:手动,卡带,EFEM

  • 可选的过程模块:

晶圆键合机键合模块

ComBond ®激活模块(CAM)

晶圆键合机烘烤模块

真空对准模块(VAM)

  • 晶圆直径高达200毫米


关键词:CAM
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