大型等离子清洗机

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所在地广州市
更新时间2022-08-26

广州科朋科学仪器有限公司

厂商性质其他
入驻年限第1年
实名认证已认证
产品数量310
人气值135

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V1000/1000X1000XS大型等离子清洗机特点：能有针对性的制作一些特殊电极，提高生产效率

大型等离子清洗机产品详情

V1000/1000X1000XS

大型等离子清洗机特点：
能有针对性的制作一些特殊电极，提高生产效率。
高可靠性RF电源，高精度调谐装置。

大型等离子清洗机用途:
硅晶圆的灰化及蚀刻IC封装、BGA/CSP基板处理电子半导体零部件和电子材料的干式清洗物体表面氧化物和有机物的除去镀膜、烤漆前的清洗，增强膜层的附着力

大型等离子清洗机规格：

型号	V1000	V1000X	V1000XS
等离子模式	DP/RIE		DP/RIE
振动频率	13.56MHz
反应气体	聚合控制器2系统（充填气路另行安装）
安全装置	门开关、侧板互锁机构、紧急停止开关
输出功率	1000W	1000W	1500W
有效尺寸(W×D)	280×280mm	300×300mm	400×375mm
油回旋真空泵	670&1000L/min	670&1500L/min	1000&1500L/min

关键词：清洗机真空泵

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