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英福康残余气体分析仪的功能
应用于ALD、蚀刻、CVD ，对残余气体进行过程监测和分析
测量速度为每点 1.8 ms（每秒 555 点）
在大多数苛刻 CVD 和蚀刻应用中，展现出经实践验证的耐久性和可靠性
应用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 软件，由 INFICON 提供支持，是一款强大的过程监测与诊断工具
紧凑尺寸 — 允许轻松集成到半导体生产设备
Hexblock™ 含三个压力进口并减少表面积，以小化表面反应时间和响应时间
电容隔膜计 (CDG) — CDG 允许用户监测过程压力，并自动保护系统不出现压力偏移
自动校准 — 确保长期数据稳定性和精度，以便进行各传感器和工具的腔室匹配
用户优越性
INFICON Transpector CPM 的下列性能可在低成本下实现现场早期报警:
■ 测量气相反应;
■ 验证真空的完整性;
■ 鉴别痕量污染物;
■ 测量过程与本底的组分;
■ 定性气体纯度。
| Type | 100 AMU CPM | 200 AMU CPM | 300 AMU CPM |
| 分辨率 | 1 amu wide @ 10% peak height | 1 amu wide @ 10% peak height | 1 amu wide @ 10% peak height |
| 总压力范围¹ | 5E-7 - 1E-3 Torr | 5E-7 - 1E-3 Torr | 5E-7 - 1E-3 Torr |
| 总压力精度² | +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr | +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr | +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr |
| 大离子源工作压力³ | 1E-3 Torr | 1E-3 Torr | 1E-3 Torr |
| 标称工作压力⁴ | 2E-4 Torr | 2E-4 Torr | 2E-4 Torr |
| 系统工作压力 | 1E-8 Torr - 1.2 atm | 1E-8 Torr - 1.2 atm | 1E-8 Torr - 1.2 atm |
| 灵敏度（低发射） | > 4E-6 Amps/Torr | > 2E-6 Amps/Torr | > 1E-6 Amps/Torr |
| 灵敏度（高发射） | > 2E-5 Amps/Torr | > 1E-5 Amps/Torr | > 5E-6 Amps/Torr |
| 小可检测分压⁵ | 1E-13 Torr | 2E-13 Torr | 4E-13 Torr |
| 大数据速率 | 1.8 ms/point (555 points/sec) | 1.8 ms/point (555 points/sec) | 1.8 ms/point (555 points/sec) |
| 丰度灵敏度⁶ | < 5 ppm | < 10 ppm | < 100 ppm |
| 零冲击⁷ | < 2 ppm | < 25 ppm | < 200 ppm |
| 检测限值⁸ | < 1 ppm | < 2 ppm | < 4 ppm |
| 线性度⁹ | +/- 20% | +/- 20% | +/- 20% |
| 小背景压力 | 1E-8 Torr | 1E-8 Torr | 1E-8 Torr |
| 大传感器和进气温°C度 | 150 | 150 | 150 |
INFICON/英福康残余气体分析仪的 Transpector CPM RGA
1.使用总压强镜头获得的离子源压强读数@低发射
2.总压强准确度@低发射
3.离子源大工作压强@低发射
4.2x10-4Torr的离子源将在四极区域产生大约1x10-5Torr的压强
5.EM开启且保压时间为1秒时离子源处的MDPP
6.质量数40对41 AMU的贡献
7.零冲击对2 AMU的贡献
8.空气中的氪的最小可检出浓度@ 1秒保压时间
9.适用于1 Torr孔板或更低设置。0.1至2倍标称孔板压强条件下的线性@低发射
