该系统结合了UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描平台，因而具备出色的测量稳定性。 通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能，程序设置简便快速。 P-17具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法，可以支持2D或3D测量。 并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。
P-17设备是正真可以实现自动化多点测量的设备，是工艺提升的必要工具！
主要技术参数
- 1.重复性：≤4A （0.01%）
- 2.垂直分辨率：0.01A
- 3.水平分辨率（X): 0.025um
- 4.水平分辨率（Y):0.5um
- 5.采样率(点)：4,000,000
- 6.垂直线性度： ±0.5%＞2000A
- 7.针压范围：0.03~50mg
- 8.量测长度：200mm（无需拼接）
- 9.扫描速度：2um/s-25mm/s
主要功能
- 1.台阶高度：几纳米至1000μm
- 2.微力恒力控制：0.03至50mg
- 3.样品全直径扫描，无需图像拼接
- 4.视频：500万像素高分辨率彩色摄像机
- 5.圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差
- 6.软件：简单易用的软件界面
- 7.生产能力：通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化
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主要应用
台阶高度：2D和3D台阶高度
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纹理：2D和3D粗糙度和波纹度
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形状：2D和3D翘曲和形状
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应力：2D和3D薄膜应力
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缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌
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工业应用
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1.大学、研究实验室和研究所
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2.半导体和化合物半导体
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3.LED：发光二极管
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4.太阳能
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5.MEMS：微机电系统
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6.数据存储
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7.汽车
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8.医疗设备
