【产品简介】
全新的 DektakXT 成为一台采用具有单拱龙门式设计，配备D 摄像机，并且利用 64 位同步数据处理模式完成精准测量和操作效率的台阶仪。过去四十多年间，布鲁克的台阶仪研制和生产一直在实践上不断实现创新，DektakXT 延续了这种开创性的风格。
【主要应用】
1、 主要用于膜厚、应力、表面粗糙度和表面形貌的测量，实现纳米尺度的表面轮廓测量；
2、 广泛应用于半导体器件、MEMS、金属镀层、油漆镀层、玻璃镀膜、太阳能、LED、触摸屏、医疗等领域。
【主要参数】
| 垂直量程 | 1mm |
| 垂直分辨率 | 0.1nm |
| 单次扫描长度 | 55mm ( 200mm) |
| 样品高度 | 50mm |
| 样品台尺寸 | 100mmX100mm （手动） 150mmX150mm（自动） |
| 样品台旋转 | 360 度连续旋转 |
| 台阶测试精度 | <5Å( 1sigma on 1μm step) |
