GFS™ 提供了一种真正的主质量流量标准，并使得低气体质量流速的基本测量真正可行。
- 覆盖从 0.2 到 200 mg/s 的多种气体量程（10 sccm 到 10 slm N2）
- 支持的气体：无毒性的非腐蚀气体
- 流量测量不确定度低至 ±0.013% 读数
- 出口压力：650 kPa 绝压
- 使用质量和时间测量的主要重量原则
- 可以实现自动化的无人管理操作
GFS 动态重力质量流量校准系统包括所需的电子质量天平、封壳和电子仪器，以准确实时测量损耗的
气体质量和整个过程的持续时间。为了提高热稳定性并抑制振动，请将天平放在一个大的花岗岩表面并使用通风的封壳将其包围。在该系统中，通过增压套筒提供测试气体，增压套筒置于天平上，系统会不断地测量其质量，以确定测试过程中损耗气体的质量和速度。通过连接到系统控制器的高速 USB 计数器/定时器来测量执行此测试所用的时间。该系统可以使用各种非腐蚀性气体种类，只需抽离参考套筒中的气体并对所选介质进行加压。
已经开发了专用的基于 PC 的软件程序 (GFSTools™)，用作仪器的控制以及用户界面。系统会记录测试输出下天平和设备的离散值和平均值，然后计算结果并将其显示为总质量和质量流量等项。对环境压力、温度和湿度以及平衡偏移的补充测量均由 GFSTools 执行。自动测试设置、数据报告和流量控制也由该程序进行处理。
GFS 通用技术规范 | ||
| 供电要求 | ||
| 天平 | 100 至 240 V 交流，50 至 60 Hz，功率 27 W。功耗 | |
| LCM | 100 至 240 V 交流，50 至 60 Hz，功率 40 W。功耗 | |
| MFC-CB | 85 V 至 264 V 交流，50 至 60 Hz，功率 36 W。功耗 | |
| 工作温度范围 | 15 到 25°C | |
| 湿度范围 | 5 到 70% RH（非凝结） | |
| 重量 | ||
| 花岗石表面（含支架） | 大约 320 kg (700 lb) | |
| 系统其余部分 | 大约 70 kg (150 lb) | |
| 尺寸 | ||
| 花岗石表面（含支架）外围 | 150 cm 高 x 90 cm 宽 x 60 cm 深 (58 in. x 36 in. x 24 in.) | |
| LCM | 8 cm 高 x 22.5 cm 宽 x 20 cm 深 (3.1 in. x 8.9 in. x 7.9 in.) | |
| MFC-CB | 8 cm 高 x 22.5 cm 宽 x 20 cm 深 (3.1 in. x 8.9 in. x 7.9 in.) | |
| GFS-FS | 20 cm 高 x 41.4 cm 宽 x 20 cm 深 (7.9 in. x 16.3 in. x 7.9 in.) | |
| 支持的气体 | 氮气 (N2)、空气、氩气 (Ar)、一氧化碳 (CO)、氦气 (He)、氧气 (O2)、二氧化碳 (CO2)、四氟化碳 (CF4)、乙烷 (C2H6)、乙烯 (C2H4)、三氟甲 (CHF3)、六氟乙烷 (C2F6)、氢气 (H2)、甲烷 (CH4)、一氧化二氮 (N2O)、六氟化硫 (SF6)、氙气 (Xe) | |
| 流量测量范围 | 至少： | |
| He、H2 | 100 sccm 到 10 slm | |
| 所有其他气体 | 10 sccm 到 10 slm | |
| 压力连接件 封壳的出口流量路径 | 1/8” Swagelok 管装置或等效装置，使用 1/4” Swagelok 管装置或等效装置的适配器 | |
| 参考气体套筒压力极限 | 20 MPa (3000 psi) | |
| CE 认证证书 | 提供，必须 | |
