产品简介

TSK521质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。TSK521系列气体质量流量控制器/流量计(以下称MFC/MFM)通过测量层流元件的差压、压力、温度来计算流量，这种测量方式具有固有的线性,重复性好,高精度,无需预热,温漂小等特点。本产品可以同时测量4种参数：气体的瞬时流量、累计流量、温度和绝压，并且可以同时显示和输出。广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等 行业的气流测量与控制。

技术特点

1、采用差压式原理、气体的质量流量不受环境温度及压力的变化而变化。
2、管状分流原理，便于更改量程，安装简易。
3、良好的传感器封装，减少外部温度变化的敏感性。
4、测量和控制的量程范围大，满量程可达30ln/min（N2当量）或2kg/min(H2O当量)
5、预热时间短、零飘小、测量和控制精度高，适用于微小流量的测量和控制。
6、可通过二次仪表或者PLC与仪表进行通讯，操作简单。
7、可直接与上位机连接，实现组网，便于操作。