满足 ALD 应用的精度、运行时间以及极低的维护要求
INFICON ALD 探头为原子状态膜层沉积 (ALD) 提供了具石英晶体微天平 (QCM) 测量水准的可靠性、精度和重复性。ALD 探头可承受高达 450 ℃ 的高温，其设计允许探头在严苛的 ALD 应用环境中运行。裸露的晶体电极接地，以有效地消除任何潜在的电气干扰问题。
专为 ALD 设计
INFICON ALD 探头的性之一便是利用惰性气体（通常为氮气）吹扫晶片背面和探头腔体。这可防止反应室的气体进入探头，并确保晶片背面和电气触点无沉积材料。这种技术可在不适合使用标准 QCM 的系统中实现现场测量。
馈入件和馈入件连接
INFICON ALD 探头可采用自定义焊接长度，也可采用长度可调的压缩接头而无需铜焊或焊接。所有配置都使用 2 ¾ 英寸(CF40) ConFlat® 法兰馈入件。
高温晶片实现更准确的测量
与 INFICON 的新型高温石英晶片结合使用时，INFICON ALD 探头可在高温应用中达到测量精度和较低的频率噪声。这些高温晶片针对 120、240 和 285 ℃ 应用进行了优化，因此您总能获得适合自己应用的正确晶片。也可提供针对其他温度优化过的晶片。请根据自己的需求联系 INFICON。
益处
- 与大多数 ALD 工艺温度兼容
- 显著减少维护工作
- 系统运行时间
- 测量精度
- 在高工艺温度下可获得低噪声的稳定读数
功能
- 工作温度可达 450 ℃
- 气体吹扫管路可防止晶体背片出现沉积材料
- 焊接式 Conflat 法兰 (CF40) 选件
- O 形密封圈压缩接头选件
- 提供高温晶片
典型应用
- 原子层沉积 (ALD)
零件号
| Welded ALD Sensor | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 750-713-G4 | 焊接 ALD 探头 |
| Adjustable ALD Sensor | |
| 零件号 | 明细 |
| 750-717-G2 | 可调 ALD 探头，长度调节范围为 101.6 至 393.7 mm（4 至 15.5 in.） |
| 750-717-G4 | 可调 ALD 探头，长度调节范围为 101.6 至 901.7 mm（4 至 35.5 in.） |
规格
| 类型 | Welded ALD Sensor | Adjustable ALD Sensor | |
|---|---|---|---|
| 温度 | 450° C | 130° C | |
| 馈入件 | 2.75 in. ConFlat® | 2.75 in. ConFlat® equipped with O-ring compression fittings | |
| 探头/馈入件连接 | Welded (no fillers) | O-ring compression fittings | |
| 气体和同轴管 | Gas: 3.2 mm (1/8 in.) O.D. (vacuum side) 6.4 mm (1/4 in.) O.D. (atmosphere side) Coax: 4.8 mm (3/16 in.) O.D. | Gas: 3.2 mm (1/8 in.) O.D. Coax: 4.8 mm (3/16 in.) O.D. | |
| 探头尺寸 （外壳） | 34 x 35 x 24 mm (1.35 x 1.38 x 0.94 in.) | 34 x 35 x 24 mm (1.35 x 1.38 x 0.94 in.) | |
| 晶片更换 | Front loading, self-contained package Cam-type locking handle | Front loading, self-contained package Cam-type locking handle | |
| 安装 | Four #4-40 tapped holes on back of sensor body | Four #4-40 tapped holes on back of sensor body | |
| 材料 | |||
| 主体和支架 | 304 stainless steel | 304 stainless steel | |
| 弹簧 | Molybdenum and Inconel X-750 | Molybdenum and Inconel X-750 | |
| 气体和同轴管 | Seamless 304 stainless steel | Seamless 304 stainless steel | |
| 其他机械部件 | 18-8 or 304 stainless steel | 18-8 or 304 stainless steel | |
| 绝缘体 | >99% Al2O3 in vacuum | >99% Al2O3 in vacuum | |
| 电线 | 1) Ni (in vacuum) 2) Ni plated Cu (elsewhere) | 1) Ni (in vacuum) 2) Ni plated Cu (elsewhere) | |
| 铜焊 | Vacuum process high temperature Ni-Cr alloy | Vacuum process high temperature Ni-Cr alloy | |
| O 形密封圈压缩接头 | N/A | 304 stainless steel, Viton® | |
