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Cube™ CDGsci
INFICON Cube 电容式膜片仪器是确的（≤ 0.025 % Rd 精度; ≤ 50
ppm FS 再现性) 和的真空计 (< 5 ppm FS/°C 温度稳定性; < 70 ppm FS/长期稳定性). Cube
是设计作为纯参考设备用于标准化真空测量系统, 它是真空科研应用的选择. 经过验证的 INFICON 温度控制的, 抗腐蚀超纯陶瓷传感器是
Cube出色性能的核心. Cube 通过无线或有线以太网接口连接的 20 比特模拟输出和 RS232-C, TCP / IP 和 HTML
数字输出的方式为现代通讯和用户灵活性设定新的标准.
每台设备都有由主要产品研究员签字的质保书。存放在一个可重复使用的有坚硬外壳的手提箱交付使用或运到校准实验室以强调其专业性。
益处
- 可靠的高精确压强测量 –陶瓷技术
- 完整的稳定输出 –由 PTB 验证
- 灵活的通讯 –各种现代化的接口
- 所有功能集成化– 无需控制器
- 直接装入真空室 –化的重心
- 运输无需隔离阀
典型应用
- 传递标准
- 主要校准仪
- 研究
- 内部标准
零件号
规格
| 类型 | 1000 Torr | 100 ... 1 Torr | 100mTorr | |
|---|---|---|---|---|
| 精度 (1) | % of reading | 0.025 | 0.025 | 0.05 |
| 温度效应 | ||||
| 零点 | percent FS/°C | 0.0005 | 0.0005 | 0.005 |
| 满量程 | % of reading / °C | 0.001 | 0.001 | 0.01 |
| 压力， | bar (absolute) | 3 | 2.5 | 1.5 |
| 读数 | percent FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
| 建议的读数 | percent FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
| 温度 | ||||
| 运行（环境） | °C | +10 … +40 | +10 … +40 | +10 … +40 |
| 贮存 | °C | –10 … +50 | –10 … +50 | –10 … +50 |
| 电源电压 | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | |
| 功耗 | ||||
| 加热时 | W | ≤15 | ≤15 | ≤12 |
| 运行温度 | W | ≤10 | ≤10 | ≤8 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 |
| 反应时间 (2) | ms | 100 | 100 | 100 |
| 保护等级 | IP 40 | IP 40 | IP 40 | |
| 标准 | ||||
| CE 合规 | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS | |
| ETL 认证 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | |
| SEMI 合规 | SEMI S2 | SEMI S2 | SEMI S2 | |
| 电气连接 | D-sub, 15 pole, male; 2 x LEMO Coax; Ethernet FCC | D-sub, 15 pole, male; 2 x LEMO Coax; Ethernet FCC | D-sub, 15 pole, male; 2 x LEMO Coax; Ethernet FCC | |
| 设定点 | ||||
| 设定点数量 | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | |
| 继电器触点 | V (dc)A (dc) | ≤30 | ≤30 | ≤30 |
| 滞后 | percent FS | 1 | 1 | 1 |
| 诊断端口 | ||||
| 协议 | Web pages, REST services, RS232-ASCII | Web pages, REST services, RS232-ASCII | Web pages, REST services, RS232-ASCII | |
| 读数 | pressure, status, ID | pressure, status, ID | pressure, status, ID | |
| 设置 | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3)) | |
| 内部容积 | ||||
| 内部容积 DN 16 ISO KF | cm³ (in.³) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 内部容积 DN 16 CF-R | cm³ (in.³) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 内部容积 8 VCR® | cm³ (in.³) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 重量 | ||||
| 重量 DN 16 ISO KF | g | 1670 | 1670 | 1670 |
| 重量 DN 16 CF-R | g | 1670 | 1670 | 1670 |
| 重量 8 VCR® | g | 1670 | 1670 | 1670 |
(1) 在25℃操作温度下的非线性、滞后和可重复性在操作2小时后不丑温度影响。
(2) 提高 10 … 90% FS
。(3) 仅针对压力控制类型
。(4) 18% 铬、10% 镍、3% 钼、69% 铁
