QMG 700 分析质谱仪
超越检测极限且达到优异的稳定性和细微的分辨率
半导体制造技术的快速发展有赖于灵敏而可靠的气体分析解决方案。在工厂或实验室中，选择 INFICON QMG 700 分析质谱仪以突破检测极限，推动工艺创新，提升工艺水平。QMG 700 的模块化设计带来的性能和适应性。利用 QMG 700 增强竞争优势，获得出众的测量能力。
根据具体的应用要求，选择配制合适的离子源、滤质器和射频电源，可量身定制QMG 700。QMG 700有超过九个数量级的动态测量量程，达到ppb 检测量级，这种优势使其成为超高真空测量的理想选择。QMG 700 对整个质量范围都有很高的分辨率，对较低的质量可获得更高的分辨率。对于某些挑战性的测量应用，如同位素分析，氦和氘分离等，QMG 700是的选择。QMG 700 出色的长期稳定性可保证关键性的测量，有效控制您的工艺。
INFICON 在分析质谱仪领域五十多年的历史和的技术，确保QMG 700 成为进行气体分析的正确选择。依赖 INFICON QMG 700 以及我们享誉世界的应用专长，您可获得始终如一的高精度测量数据。
功能
- 质量范围选择为 1-2048 amu
- 超过九个数量级的动态量程
- 极快的测量速度：0.125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar
-
涵盖整个质量范围的高分辨率：质量 1、2 和 3 可在 ppb 范围内清晰地分离
- 超过 10 个不同的离子源和离子光学组合
- 离散或连续倍增电极电子倍增器选件
- 用于正负离子以及中性粒子分析的离子计数前置放大器
- IO 选项：8 个模拟输入/输出和 32 个数字输入/输出
- 软件功能强大，灵活实用且具友好的用户界面
典型应用
- Gas discharge mass spectrometry
- End point detection
- Deposition material monitoring
- Secondary ion mass spectrometry
零件号
| QMA 400 | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 490-709 | |
| 490-710 | QMA 400 with axial Ionenq. |
| 490-711 | QMA 400, 8mm Mo,217, W, CB |
| 490-712 | QMA 400 mit CB-IQ, MAG |
| 490-713 | QMA 400, 8mm Mo,217, CB-GT |
| 490-721 | QMA 400 mit CB_Ionenq. gasd. |
| 490-722 | QMA 400 m. CB-IQ, Y-Kat., Mag. isol. |
| 490-755 | |
| 490-756 | QMA 400, 8mm Mo, UF6 |
| 490-756-2 | QMA 400, 8mm Mo, UF6 Untested Assembly |
| 490-770 | QMA 400 mit CB-Ionenq.gasd., spezial |
| 490-772 | QMA 400 with Axial Ionenq, W |
| BKM07627 | |
| PTM07736 | QMA 400 mit Crossb.-Ionenq. |
| QMA 410 | |
| 零件号 | 明细 |
| 490-811 | QMA 410 Cross Beam IS w/ Magnet |
| 490-813 | QMA 410, CB-IQ Gas-Tight with Magnet |
| 490-816 | QMA 410,16mm Mo,217, W, CB |
| QMA 430 | |
| 零件号 | 明细 |
| 490-911 | QMA 430, 8mm SS,217, W, CB |
| 490-912 | QMA 430, 8mm SS,217, W, CB-GT |
| 490-921 | QMA 430, 8mm SS,217, W, CB (GIA) |
规格
| 类型 | QMA 400 | QMA 410 | QMA 430 | |
|---|---|---|---|---|
| 质量范围 | 1-2048 amu (1) | 1-340 amu (2) | 1-300 amu | |
| 传感器长度 | 441.5 mm | 548 mm | 441.5 mm | |
| 杆直径 | 8 mm | 16 mm | 8 mm | |
| 杆材料 | Molybdenum | Molybdenum | Stainless Steel | |
| 法兰 | DN 63 CF-F | DN 100 CF-F | DN 63 CF-F | |
| 检测器类型 | Faraday/SEV 217 | Faraday/SEV 217 | Faraday/SEV 217 | |
| 工作压力 (FC) | 1 E-4 mbar | 1 E-4 mbar | 1 E-4 mbar | |
| 工作压力 (EM) | 1 E-5 mbar | 1 E-5 mbar | 1 E-5 mbar | |
| 灵敏度 | 5 E-4 A/mbar | 1 E -3 A/mbar | 2 E-4 A/mbar | |
| 最小可检测分压 | 1 E-15 mbar | 5 E-16 mbar | 1 E-15 mbar | |
| 分辨率（可调） | 0.3 - 7 amu | 0.2 - 2.2 amu | 0.3 - 7 amu | |
| 分压比 | < 0.5 ppb | < 0.5 ppb | < 0.5 ppb | |
| 工作温度 传感器 | 150 °C | 150 °C | 150 °C | |
| 烘烤温度 | 400 °C | 400 °C | 400 °C | |
| 工作温度 电子单元 | 40 °C | 40 °C | 40 °C | |
| 测量速度 | 0.125 ms - 60 s/amu | 0.125 ms - 60 s/amu | 0.125 ms - 60 s/amu | |
| 电源 | 100 - 240 VAC | 100 - 240 VAC | 100 - 240 VAC | |
(1) QMA 400 的可检测质量范围为：1-512 amu、1-1024 amu、1-2048 amu。
QMA 400 的规格基于 512 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置
(2) QMA 410 的可检测质量范围： 1-16 amu、1-128 amu、1-340 amu。
QMA 410 的规格基于 128 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置
