该系列设备均为精密的超高真空设备。主要适用于高校实验室、科研机构，科研院所、工厂实验室进行科研试验、工艺研究及样品制备。
高真空镀膜机：
- 用于金属及非金属薄膜的制备及工艺研究，包括金、铝、铜、铁及OEL有机膜等材料。
- 极限真空度可达10-5 Pa量级。
- 设备分类:高真空蒸发镀、高真空磁控溅射镀、高真空离子溅射镀、真空化学气相沉积
- 用于高压绝缘材料的绝缘性能研究。
- 利用光谱分析的原理，结合超高真空环境。
- 极限真空度可达10-5 Pa量级。
- 具备深冷工作环境（液氮温度）。
- 用于金属及非金属光学性能的工艺研究。
- 利用光谱分析的原理，结合超高真空环境。
- 极限真空度可达10-5 Pa量级。
- 具备1600℃的高温工作环境。
- 用于激光的特性研究。
- 极限真空度10-3 Pa量级。
- 氢气保压在工作要求范围可达一年以上。
- 具备深冷工作环境（液氮温度）
- 用于在超高真空环境下对试验样品的制备、保存及物理化学性能的研究。
- 极限真空度可达10-6 Pa量级。
- 根据需要，可提供高温、低温工作环境。
- 根据需要，可提供各种方式的自动机械手。
- 根据需要，可提供各种特殊实验功能。
哈尔滨工业大学、哈尔滨理工大学、吉林大学等。
