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  • 射频离子源RFICP380溅射制备微晶硅薄膜

射频离子源RFICP380溅射制备微晶硅薄膜

参考价
360000-1920000
具体成交价以合同协议为准
  • 型号
  • 品牌其他品牌
  • 所在地上海市
  • 更新时间2023-03-14
  • 厂商性质代理商
  • 入驻年限1
  • 实名认证已认证
  • 产品数量200
  • 人气值3101
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位于中国上海浦东外高桥保税区的伯东企业(上海)有限公司创建于1995年12月,, 是日本伯东株式会社独资设立的外商投资企业,公司注册资金为200万美元,到目前为止公司从业员工有400多人。
伯东企业(上海)有限公司真空产品事业部()专业销售及维修德国Pfeiffer单双级旋片泵,干泵,罗茨泵,分子泵;应用于各种条件下的真空测量(真空计, 真空规管);检漏仪,质谱仪,真空系统等等, 维修技术力量雄厚,保证 100 % 拥有标准的德国Pfeiffer原厂测试设备及调整工具和德国Pfeiffer专业培训工程师,多年来致力于真空系统的安装、调试、维修、拆机、保养等,具有优良的专业技能和服务意识,并获得原厂*维修资质证书。利用 Pfeiffer 进口检测设备对维修后的产品做*性能测试。另外公司还代理美国Brooks  CTI Cryopump 冷凝泵/低温泵, Polycold 冷冻机和美国KRI 离子源,HVA 高真空阀门。公司一直坚持品质*、信誉*的原则,为广大客户提供了高品质的产品以及良好的售后服务。到目前为止已先后通过了美国UL安全认证、ISO9001-2000质量体系认证、ISO14001-1996环境体系认证。公司将在今后的发展中秉承以人为本,不断开拓进取的精神,为满足客户的需求努力向专业化、优质化、集团化发展。

为将国外的高科技产品与中国经济和社会的飞速发展紧密结合,为促进国内.贸易的快速发展,伯东企业(上海)有限公司,以高科技推动现代化,以高质量服务全中国, 坚持不懈,奋斗不息。伯东公司是一家专业代理公司,代理上公司的 半导体设备.接插件.电子器件.精密仪器等,公司秉承 改革.创新.求真.发展的基本原则, 精心构建诚信、互动、共赢的价值体系, 为所有的客户提供优质的产品, 同时,提供全伯东集团网络支持下的较早.Z快的信息与Z及时周到的服务,伯东公司愿意与世界各地的客户联手合作,共建一个诚信.发展.共同进步的良好环境.

 

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产地进口 加工定制
硅薄膜作为薄膜太阳能电池的核心材料越来越引起人们的重视, 非晶硅薄膜太阳能电池由于存在转换效率低和由 S-W 效应引起的效率衰退等问题, 而微晶硅薄膜具有较高电导率、较高载流子迁移的电学性质及优良的光学稳定性, 可以克服非晶硅薄膜的不足, 已成为光伏领域的研究热点.
射频离子源RFICP380溅射制备微晶硅薄膜 产品详情

因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准







硅薄膜作为薄膜太阳能电池的核心材料越来越引起人们的重视, 非晶硅薄膜太阳能电池由于存在转换效率低和由 S-W 效应引起的效率衰退等问题, 而微晶硅薄膜具有较高电导率、较高载流子迁移的电学性质及优良的光学稳定性, 可以克服非晶硅薄膜的不足, 已成为光伏领域的研究热点.

 

采用磁控溅射沉积硅薄膜不需要使用 SiH4 等有毒气体及相应的尾气处理装置, 有利于降低设备成本, 且工艺参数容易控制, 因此经过伯东工程师推荐, 长沙某大学实验室课题租在研究微晶硅薄膜时, 采用伯东 KRI 考夫曼射频离子源 RFICP380 辅助磁控溅沉积制备微晶硅薄膜.

 

KRI 射频离子源 RFICP380 技术参数:

射频离子源型号

RFICP380

Discharge 阳极

射频 RFICP

离子束流

>1500 mA

离子动能

100-1200 V

栅极直径

30 cm Φ

离子束

聚焦, 平行, 散射

流量

15-50 sccm

通气

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型压力

< 0.5m Torr

长度

39 cm

直径

59 cm

中和器

LFN 2000

 

 

试验结果:

在实验中, 通过伯东 KRI 考夫曼射频离子源 RFICP380 辅助磁控溅沉积的方法, 可以在玻璃衬底上制备出结晶良好的微晶硅薄膜.

 

KRI 离子源的功能实现了更好的性能, 增强的可靠性和新颖的材料工艺. KRI 离子源已经获得了理想的薄膜和表面特性, 而这些特性在不使用 KRI 离子源技术的情况下是无法实现的.

 

若您需要进一步的了解详细信息或讨论,  请参考以下联络方式:

上海伯东: 罗先生    


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