DH900DZX箱式多弧磁控镀膜机可镀制不锈钢,铬,钨等多种金属,也可镀制合金膜或化合物,也可在工件表面上镀制单层或多层介质膜或金属 ZrN TiCN TiAIN等硬质或装饰涂层,具有镀膜速度快,膜层质量好的优点。
◆ 真空室:镀膜室尺寸900×900×1000mm3 ;箱式,前开门结构;
◆ 抽气系统:机械泵:前级泵70L/S;维持泵:2×-8旋片泵;罗茨泵:ZJP-150;扩散泵:KT-500凸腔扩泵;分子泵:FF250/1600﹝选配﹞
◆ 极限真空:5×10-4Pa; 恢复真空:5×10-3Pa﹝小于20min﹞;
◆ 镀膜系统:平面磁控靶或圆柱磁控靶/直流功率源或中频功率源;小弧源/柱弧源;
◆ 辅助镀膜系统:脉冲偏压电源。条形离子源﹝选配﹞。
◆ 膜厚测量系统:石英晶体膜厚监控系统﹝选配﹞。
◆ 进气系统:自动压强控制+多路质量流量控制系统;
◆ 操作方式:手动按键式;自动控型配置:研华工控机,80G硬盘,512内存+日本三菱PLC;15英寸液晶显示触摸屏界面;
◆ 旋转夹具:公转/自转夹具,速度从0~15r/min 无级可调;
◆ 工作烘烤:室温~300 ℃;
◆ 供电电源:三相380V,50HZ。
◆ 特殊规格可定制。
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