DH450ZZK真空镀膜机是箱式开门电阻蒸发镀膜设备,可辅选离子轰击以提高成膜质量。适用于科研单位进行材料新工艺薄膜研究;也可用于小批量,高精度薄膜材料制备工作。选配全自动控制系统后可实现全过程自动控制。
镀膜机的真空室材料均采用上等SUS304不锈钢材料制造,工艺规范,精致,保证了材料的成膜纯度。
镀膜机采用大抽速真空机组,更快达到需要的真空度,节省使用时间。
◆ 制膜种类:适用于在塑胶,玻璃,陶瓷等材料质的工件上镀制金属膜。装饰膜,硬质膜或光学膜等。
◆ 镀膜室尺寸:450×500mm,配球面拱形旋转夹具,转速0~30r/min;
◆ 真空系统:DH450ZZK:大抽速2ZX-8机械泵+K-200不锈钢扩散泵;DH450ZZF:可抽速2ZX-8机械泵+FF160/620分子泵。
◆ 工作烘烤:室温300 ℃ 可控可调﹝PID控温﹞;
◆ 恢复真空:DH450-ZXK:5×10-3Pa﹝小于15min﹞;
DH450-ZZF:2×10-3Pa ﹝小于20min﹞ ;
◆ 极限真空:DH450-ZZK:1×10-4Pa;DH450-ZZF:6.7×10-5Pa 。
◆ 可选配件:离子辅助镀膜系统:有高压离子轰击;RF离子轰击;离子源等可选配;膜厚测量系统:光学膜厚测量系统;石英晶振测厚仪两种可选配;全自动操作控制系统;5.4英寸彩色触摸屏,三菱PLC可选配;负偏压,反溅清洗组件可选配;循环水机组可选配。
◆ 供电电源:三相380V,50HZ;特殊规格可定制。
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