同惠TH1991高精度源表简介:
TH1991/TH1992系列精密源/测量电源,可同时输出并测量电压 和电流,在仪器中集成了电流源、电压源、电压表、电流表功能, 各功能可任意切换。 TH1991/TH1992系列精密源/测量单元可输出高达±210V直流电 压、±3A直流电流以及±10.5A脉冲电流、*小10fA/100nV的电源 和测量分辨率,支持高速采样,可生成任意波形。
TH1991/TH1992系列精密源/测量单元系列采用了7英寸电容式触 摸屏,以Linux操作系统为底层,交互式图形用户界面及各种显示 模式,并内置了二极管、三极管、MOS管以及IGBT等器件的I/V曲 线扫描功能,无需连接上位机即可完成IV功能测试,可显著提高测 试效率。
TH1991/TH1992系列精密源/测量单元全 面、综合的电源和测量功 能,是测试半导体、有源/无源器件以及各种其他器件与材料的理 想选择。 TH1991/TH1992系列精密源/测量单元广泛应用在研发和教育应 用、工业开发、测试和制造业等领域。
同惠TH1991高精度源表特点:
■ 通道数:1
■ 高达±210V直流电压、±3A直流电流/±10.5A脉冲
■ 10fA/100nV*小输出及测量分辨率(6 1/2位)
■ 7英寸电容式触摸屏,分辨率800×480
■ Linux操作系统
■ 四象限精密电源输出
■ 电压源、电流源、电压表、电流表或电阻表五种基本模式
■ 支持直流、脉冲、扫描及列表输出
■ 二极管、三极管、MOS管以及IGBT快速生成常用器件的特性曲线,时域波形滚动显示功能
■ 兼具二线制测量/四线制测量
■ 输出滤波器时间常数(或截止频率)可自由设置以实现任意频响输出
■ 数学 运算功能、滑动平均滤波功能、偏差扣除功能
■ Delta低电阻测试方法,有效补偿由热电动势引起的测量误差
■ 14档分选功能,含Grading和Sorting两种模式。
■ TH199X系列高达1000000点/秒采样率,*小采样间隔1μs
■ TH199X系列脉冲输出的脉宽*小可达50μs
■ TH199X系列任意波形生成及列表扫描功能(*小1μs间隔)
TH199X系列高精度源表规格选型表:
型号 | 通道数 | 有效设置和测量值 | |||
*小分辨率 | *大电流 | *大电压 | |||
源 | 测量 | ||||
TH1991C | 1 | 1pA,1uV | 100fA,100nV | DC:±1.515A 脉冲:无 | ±63V |
TH1991B | 100fA,1uV | 10fA,100nV | DC:±3.03A脉冲:无 |
±210V | |
TH1991A | 1pA,1uV | 100fA,100nV | DC:±3.03脉冲:±10.5V | ||
TH1991 | 10fA,100nV | 10fA,100nV | |||
TH1992B |
| 100fA,1uV | 10fA,100nV | ||
TH1992A | 2 | 1pA,1uV | 100fA,100nV | ||
TH1992 | 10fA,100nA | 10fA,100nV |
量程 | 编程解析度 | 精度(增益误差(读数的%)+偏移误差) | 噪声(峰峰值)0.1Hz至 10Hza | *大电压 (超过量程) | |||
TH1991C | TH1991B TH1992B | TH1991A TH1992A | TH1991 TH1992 | ||||
±200mV | 1uV | 1uV | 0.1uV | ±(0.015%+225uV) | ≤10uV | ±210mV | |
±2V | 10uV | 10uV | 1uV | ±(0.02%+350uV) | ≤20uV | ±2.1V | |
±20V | 100uV | 100uV | 10uV | ±(0.015%+5mV) | ≤200uV | ±21V | |
±200Vb | — | 1mV | 1mV | 100uV | ±(0.015%+50mV) | ≤2mV | ±210V |
※注意:上标 a:补充特征
- 电压限值/合规性:精度与电压源相同。*小值是量程的 1%或 200mV 量程中的 20mV。
- 超过量程:源量程的 105%。
- 电压输出稳定时间(在开路负载条件下,达到*终值的 0.1%范围所需的时间):步长为 10%至 90%量程。l 200mV 和 2V 量程:<50us,20V 量程:<110us,l 200V 量程:<700us
- 噪声 10Hz 至 20MHz(V 源):50mVrms,20V 量程
- V 源过冲:<±(0.1%+10mV)步长大小是 10%至 90%量程, 电阻负载。
- 电压源量程更改过冲:≤250mV,100kΩ负载,20MHz 带宽。
上标 b:±200V 不适用于 TH1991C。
量程 | 编程解析度 |
精度(增益误差(读数的%)+偏移误差) | 噪声(峰峰 值)0.1Hz至 10Hza | *大电流 (超过量程) | |||
TH1991C | TH1991B TH1992B | TH1991A TH1992A | TH1991 TH1992 | ||||
±10nAb | — | 100fA | — | 10fA | ±(0.10%+50pA) | ≤2pA | ±10.5nA |
±100nAc | — | 1pA | 1pA | 100fA | ±(0.06%+100pA) | ≤5pA | ±105nA |
±1uA | 10pA | 10pA | 1pA | ±(0.025%+500pA) | ≤25pA | ±1.05uA | |
±10uA | 100pA | 100pA | 10pA | ±(0.025%+1.5nA) | ≤60pA | ±10.5uA | |
±100uA | 1nA | 1nA | 100pA | ±(0.02%+25nA) | ≤3nA | ±105uA | |
±1mA | 10nA | 10nA | 1nA | ±(0.02%+200nA) | ≤6nA | ±1.05mA | |
±10mA | 100nA | 10nA | 10nA | ±(0.02%+2.5uV) | ≤200nA | ±10.5mA | |
±100mA | 1uA | 1uA | 100nA | ±(0.02%+20uV) | ≤600nA | ±105mA | |
±1A | 10uA | 10uA | 1uA | ±(0.03%+1.5mA) | ≤70uA | ±1.05A | |
±1.5A | 10uA | 10uA | 1uA | ±(0.05%+3.5mA) | ≤150uA | ±1.515A | |
±3Ad | — | — | 100uA | 10uA | ±(0.4%+7mA) | — | ±3.03A |
±10Ad、e | — | — | 100uA | 10uA | ±(0.4%+25mA)f | — | ±10.5A |
电流限值/合规性:精度与电流源相同,*小值是量程的1%,或 10nA 量程中的 1nA。
超过量程:1.5A 和 3A 量程的是源量程的 101%,其余为源量程的 105%。
电流数出稳定时间:(在短路条件下,达到*终值的 0.1%范围所需的时间):步长为 10%至 90%量程。
10nA 和 100nA 量程:<10ms,1uA 量程:<500us
10uA 和 100uA 量程:<250us,1mA 至 3A 量程:<80us
源过冲:<±0.1%,步长大小 10%至 90%量程,电阻 负载。
电流源量程更改过冲:≤250mV/R 负载,20MHz 带宽。
上标 b:±10nA 不适用于 TH1991A/C 和 TH1992A。
上标 c:±100nA 不适用于 TH1991C。
上标 d:±3A、±10A 不适用于 TH1991B/C 和 TH1992B。
上标 e:±10A 量程仅适用于脉冲模式,不适用于 DC 模式。
上标 f:测量速度:0.01PLC。
| *大电压 | *大峰值电流 | *大基极电流 | *大脉冲宽度 | *大占空比 |
DC 或脉冲 | 6V | 3.03Aa | 303Aa | DC,无限值 | 99% |
21V | 1.515Aa | 1.515Aa | DC,无限值 | 99% | |
210V | 0.105A | 0.105A | DC,无限值 | 99% | |
脉冲 | 6V | 10.5A | 0.5A | 1ms | 2.5% |
180V | 10.5A | 50mA | 10ms | 2.5% | |
200V | 1.515A | 50mA | 2.5ms | 2.5% |
上标 a:对于两个通道,两个通道*大总电流受限制。
脉冲宽度定义:从 10%前沿到 90%后沿的时间,如下图所 示。
对于脉冲源始终使用固定量程进行测量。
图 3-2脉冲宽度(10%前沿到 90%后沿)
源值 | Limit 值 | 负载 | 源稳定(量程的%) | *小脉冲宽度 |
200V | 1.5A | 200Ω | 0.1% | 1ms |
6V | 10.5A | 0.6Ω | 0.1% | 0.2ms |
1.5V | 200V | 65Ω | 0.1% | 2.5ms |
10.5V | 6A | 0.5Ω | 0.1% | 0.2ms |
※注意:对于上述电压和电流条件连接了适当的电阻负载。
|
V 中*大电压 |
A 中*大电流 | 使用通道 1(I1,V1)和使用通道 2(I2,V2)时总电流 限值 | ||
V 中的 V1 | V 中的 V2 | A 中的电流限值 | |||
DC 或 脉冲 | 6V | 3.03A |
±(0≤V1≤6) | ±(0≤V2≤6) | I1+I2≤4 |
21 V | 1.515A | ±(6≤V2≤21) | I1+I2*1.6≤4 | ||
210 V | 0.105A |
±(6≤V1≤21) | ±(0≤V2≤6) | I1+I2*0.625≤2.5 | |
脉冲 | 6V | 10.5A | ±(6≤V2≤21) | I1+I2≤2.5 | |
200 V | 1.515A |
|
| |
量程值 |
电压输出值 | 设置分辨率 | *大电流 |
脉冲宽度 | ||||
TH1991C | TH1991BTH1992B | TH1991ATH1992A | TH1991 TH1992 | DC 输出 | 脉冲输出 | |||
0.2V | 0≤|V|≤0.21V | 1uV | 0.1uV | ±3.03A | ±10.5A |
50us ≤t≤ 100ks | ||
2V | 0≤|V|≤2.1V | 10uV | 1uV | |||||
20V | 0≤|V|≤6V | 100uV | 10uV | |||||
0≤|V|≤21V | ±1.515A | ±1.515A | ||||||
200V | 0≤|V|≤6V | 1mV |
1mV |
100uV | ±3.03A | ±3.03A | ||
±10.5A | 50us ≤t≤ 1ms | |||||||
0≤|V|≤21V | ±1.515A | ±1.515A | 50us ≤t≤ 100ks | |||||
0≤|V|≤180V | 1mV (0-60V) |
1mV | — | ±1.05A | 50us ≤t≤ 10ms | |||
0≤|V|≤200V | — | — | ±1.515A | 50us ≤t≤ 2.5ms | ||||
0≤|V|≤210V | — | ±0.105A | — | — |
表 3-6电压输出量程
量程值 | 电流输出值 | 设置分辨率 | *大电压 |
脉冲宽度 | ||||
TH1991C | TH1991BTH1992B | TH1991ATH1992A | TH1991 TH1992 | DC 输出 | 脉冲输 出 | |||
10nAa | 0≤|I|≤ 10.5nA | 1pA | 100fA | — | 10fA | ±210V | ±210V | 50us ≤t≤ 100ks |
100nA | 0≤|I|≤ 105nA | 10pA | 1pA | 1pA |
100fA | |||
1uA | 0≤|I|≤ 1.05uA | 100pA | 10pA | 10pA | 1pA | |||
10uA | 0≤|I|≤ 10.5uA | 1nA | 100pA | 100pA | 10pA |
100uA | 0≤|I|≤105uA |
10nA |
1nA |
1nA |
100pA |
|
|
|
1mA | 0≤|I|≤1.05mA |
100nA |
10nA |
10nA |
1nA | |||
10mA | 0≤|I|≤10.5mA |
1uA |
100nA |
100nA |
10nA | |||
100mA | 0≤|I|≤105mA |
10uA |
1uA |
1uA |
100nA | |||
1A | 0≤|I|≤105mA | 100uA | 10uA | 10uA | 1uA | ±210V | — | — |
105mA≤ |I| ≤1.05A | ±21V | — | — | |||||
1.5A | 0≤|I|≤105mA | 100uA | 10uA | ±210V | — | — | ||
105mA≤|I|≤1.515A | ±21V | — | — | |||||
0≤|I|≤1.515A | — | ±21V | 50us ≤t≤ 100ks | |||||
0≤|I|≤1.05Aa |
— |
±180V | 50us ≤t≤ 10ms | |||||
0≤|I|≤1.515Aa |
— |
±200V | 50us ≤t≤ 2.5ms | |||||
3A | 0≤|I|≤105mA | 1mA | 100uA | 100uA | 10uA | ±210V | — | — |
105mA≤|I|≤1.515A | ±21V | | — | |||||
1.515A≤|I|≤3.03A | — | ±6 | — | — | ||||
10Ab | 0≤|I|≤10.5A | — | — | — | ±6V | 50us ≤t≤ 1ms |
表 3-7电流输出量程
※注意:
上标 a:脉冲基地(即时)电流电平的限制为±50mA
上标 b:脉冲基地(即时)电流电平的限制为±500mA