PLUTO-F(14.5L)实验室方腔等离子清洗机-仪表网

沛沅仪器是一家集等离子体技术设计、制造、产品开发、销售与服务于一体的技术型企业，公司致力于提供专业的等离子表面处理系统，向用户提供国内*的等离子表面处理设备和优质专业的服务。

公司技术团队67%以上具备硕士或硕士以上学位，公司由*从事等离子体应用技术研究开发、多次参与国家重大科学工程研究的专家和产业化专家联合创建，提供一系列等离子体表面处理系统、等离子体刻蚀系统、常压等离子清洗设备等，并与中科院上海应用物理研究所，复旦大学，中国科技大学，上海科技大学，上海交通大学等建立了密切的技术合作交流关系。

公司的愿景是成为等离子体应用领域的优质供应企业，用科研的沉淀和应用的创新，为中国的制造业崛起和化战略贡献一份力量。

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产品简介在线询价

PLUTO-F型等离子体表面处理系统是一款功能强大的桌面型表面等离子体设备，非常适合于高校、科学研究所和企业实验室，或者小批量生产，需要低成本运作且高效处理的企业。它具备等离子设备几乎所有的功能，具有较大的腔体尺寸和灵活的电极配置方式。

PLUTO-F(14.5L)实验室方腔等离子清洗机产品详情

产品特点

1. 桌面型，性能稳定、操作简便、使用成本极低、易于维护，高性价比。

2.小身材，有效处理面积大，可以轻松处理8寸硅片去胶等应用，可以处理203mm*203mm样品。

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3.采用气浴电极，清洗效率高。

电极.png

4.灵活的电极配置方案，最多可以处理2片8寸硅片

电极-2.jpg

5.对各种几何形状、表面粗糙程度各异的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面进行超清洗和表面改性。

技术参数

1. 真空腔规格: 材质6061-T6铝合金 240mm*300mm*200mm

2. 电极：平板气浴电极，材质6061-T6铝合金

3. 电极尺寸：205mm *205mm

4. 频率：13.56MHz (可选配40KHz射频等离子源)

5. 功率：0-500W连续可调，精度1W,可在设备运行中随时调整参数

6. 气体控制：针式气体流量阀， 60-600ml 2路气体

7. 真空计：电偶式真空计，精度：0.01mTor

8. 控制方式：4.3寸工业控制触摸屏，全手动控制和全自动控制两种控制方式

控制软件功能：界面显示实时工作状态

应用领域

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关键词：触摸屏

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