质谱仪（残余气体分析仪、大分子量质谱、等离子体质谱）

1.美国INFCON公司提供的Transpector2、100、200、300amu系统带法拉第杯或电子倍增器的组合，改进并提高氢气的监测，的峰值和位置的稳定性，与原始的Transpector相比讯噪比提高10倍，9个数量级的电子学动态量程，分压测量从1*10-4～2*10-14Torr，广泛的应用于PVD机台或工艺状态，刻蚀，CVD注入。
更为强大TranspectorXPR3最小测量分压可达到1*10-2Torr，广泛适用于溅射，电子束蒸发等镀膜工艺的过程控制。
在线质谱IPC400的研制，解决客户在高压强下分析气体成分的可能性，为客户提供在线实时监测工艺状态的可能。
在线质谱仪Transpector CPM，曲线可以从大气取相，更为宽广的测量空间。CPM 紧凑型过程监控器是一款功能全面、结构紧凑且经济实惠的气体分析仪，适用于现场监控复杂的过程。
2.QMG700高性能四极质谱仪。
高测量速度0.125 ms/amu、超高灵敏度和宽广的动态范围扫描表示空气的谱线.在空气中检测到136 Xe (氙) 的含量为 7,8 ppb, 比噪声水平高数个量级.达到超过 10 个量级的动态范围。质量数1-1024amu可选择，离子源类型可选。
3.PPM422等离子体过程检监控器是一种集成有能量分析器的差分泵质谱仪，可用于测量中性粒子、正离子和负离子，以及对等离子加工过程中的离子和中性粒子进行能量分析。
功能特点：检测等离子体中的中性粒子和正负离子
中性粒子和正负离子能量分析
自由基测量
等离子过程的终点检测
宽泛的动态量程
高测量速度
vacuum H
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