193nm激光器准分子加工系统-仪表网

公司介绍主营产品

先锋科技是国内的光电产品系统集成商之一，总部位于香港。目前拥有员工30余人，销售工程师及技术服务工程师全部具有相关专业的大学本科及以上学历。凭借在光电领域前沿的不断探索，公司不仅为用户提供国外原厂生产的各类标准产品，而且致力于根据用户的具体要求，提供完整的系统解决方案，包括设计、生产、集成和二次开发等。

公司一直持续关注光电类前沿的技术产品，从初期只与有限几个品牌有业务关系，发展到现在与几十家欧美公司*密切合作。公司提供的产品，其涵盖面也从初的光谱仪器单一类别，发展到现在的成像产品、各种激光器、激光测试、太赫兹、光度色度测试、光电元器件、光学元件、精密光学机械运动控制等几乎所有光电行业产品系列。公司实行不同产品系列团队负责制，力争将销售和技术岗位的工程师都培养成为各自负责产品类别的人才，实实在在地让客户体会到专业团队的专业服务！

公司拥有一支具备专业知识的销售工程师团队，并始终要求相关团队成员，在销售过程中从各个领域内的用户处时刻更新自己的知识内容，保持对各应用领域内新研究内容的了解，从而能够结合仪器设备的技术特点，按照广大用户的不同应用要求，提供准确、*的各种仪器解决方案。

公司的技术服务工程师积累了丰富的仪器安装、调试及故障解决经验，并不断结合科研生产仪器设备的新技术新发展及用户的要求，努力完善售后服务体系，力争做到在尽可能短的时间内为用户提供迅速有效的技术响应，使用户的各种技术服务要求尽量得到满足。针对主营产品和业务，公司每年定期安排技术服务工程师参加各类技术培训，购买相应的零配件，力争做到绝大部分的主流产品维修本地化，免除由于路程往返造成的时间、费用和工作效率上的损失。

公司*门的贸易专员，每年均要处理大量的贸易合同。公司商务团队，以其丰富贸易经验，努力协调公司内外以及公司内部各部门的行动，力争让用户在更短的时间内收到订购的仪器，享受到相应的服务。

全体员工努力工作的目标是：把公司建设成为一个光电行业系统集成业务市场中，技术和服务均优秀公司。先锋科技衷心希望得到新老客户一如既往的支持！

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产品简介在线询价

193nm激光器准分子加工系统产品特点：全部实现风冷，无需水冷；结构紧凑，脉冲频率高，Z高重复频率到1kHz；全新技术金属-陶瓷腔体；光束均匀性好集成的真空泵和卤素滤光片激光头体积3L提供能量稳定模式，保证能量稳定输出；

193nm激光器准分子加工系统产品详情

193nm激光器准分子加工系统

193nm激光器准分子加工系统产品外观图

典型的均匀光斑形貌

微加工系统

产品特点：

全部实现风冷，无需水冷；

结构紧凑，脉冲频率高，zui高重复频率到1kHz；

全新技术金属-陶瓷腔体；

光束均匀性好

集成的真空泵和卤素滤光片

激光头体积<3L

提供能量稳定模式，保证能量稳定输出；

应用：

微加工

激光融蚀

医学（眼睛手术）

光谱

计量

光纤布拉格光栅刻写

参数

ATLEX-300-I 参数

ATLEX-300-I 参数
气体介质	F2	ArF	KrF	XeCl	XeF	单位
波长	157	193	248	308	351	nm
高压开关技术	固态开关
zui大脉冲能量¹	1	10	15	8	7	mJ
zui大平均功率	0.2	2.4	4.0	2.0	1.7	W
zui大重复频率	300					Hz
脉宽²	5-8					ns
光斑尺寸（V*H）	4*6					mm
光束发散角（V*H）	1*2					mrad
能量稳定性	<3					%
尺寸（LWH）	540470370					mm
重量	60					kg
制冷	风冷
供电要求	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

在低重复频率下测量，应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
典型值，半高全宽（FWHM）

ATLEX-500-I 参数

ATLEX-500-I 参数
气体介质	F2	ArF	KrF	XeCl	XeF	单位
波长	157	193	248	308	351	nm
高压开关技术	固态开关
zui大脉冲能量¹	1	10	15	8	7	mJ
zui大平均功率	0.5	4.0	6.5	3.0	2.5	W
zui大重复频率	500					Hz
脉宽²	5-8					ns
光斑尺寸（V*H）	4*6					mm
光束发散角（V*H）	1*2					mrad
能量稳定性	<3					%
尺寸（LWH）	540470370					mm
重量	60					kg
制冷	风冷
供电要求	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

在低重复频率下测量，应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
典型值，半高全宽（FWHM）

ATLEX-1000-I 参数

ATLEX-1000-I 参数
气体介质	ArF	KrF	单位
波长	193	248	nm
高压开关技术	固态开关
zui大脉冲能量¹	10	15	mJ
zui大平均功率	4.0	6.5	W
zui大重复频率	1000		Hz
脉宽²	5-8		ns
光斑尺寸（V*H）	4*6		mm
光束发散角（V*H）	1*2		mrad
能量稳定性	<3		%
尺寸（LWH）	540470370		mm
重量	60		kg
制冷	风冷
供电要求	230 VAC/10A/1 phase/50-60Hz

在低重复频率下测量，应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
典型值，半高全宽（FWHM）

ATLEX-300-FBG 参数

ATLEX-300-FBG 参数
气体介质	ArF	KrF	单位
波长	193	248	nm
高压开关技术	固态开关
zui大脉冲能量¹	10	15	mJ
zui大平均功率	2.4	4.0	W
空间相关性(垂直方向)	>300	>300	um
zui大重复频率	300		Hz
脉宽²	5-8		ns
光斑尺寸（V*H）	4*6		mm
光束发散角（V*H）	1*2		mrad
能量稳定性	<3		%
尺寸（LWH）	540470370		mm
重量	60		kg
制冷	风冷
供电要求	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

在低重复频率下测量，应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
典型值，半高全宽（FWHM）

ATLEX-500-FBG 参数

ATLEX-500-FBG 参数
气体介质	ArF	KrF	单位
波长	193	248	nm
高压开关技术	固态开关
zui大脉冲能量¹	10	15	mJ
zui大平均功率	4.0	6.5	W
空间相关性(垂直方向)	>300	>300	um
zui大重复频率	500		Hz
脉宽²	5-8		ns
光斑尺寸（V*H）	4*6		mm
光束发散角（V*H）	1*2		mrad
能量稳定性	<3		%
尺寸（LWH）	540470370		mm
重量	60		kg
制冷	风冷
供电要求	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

在低重复频率下测量，应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
典型值，半高全宽（FWHM）

ATLEX-LR 参数

ATLEX-LR 参数
气体介质	ArF	单位
波长	193	nm
zui大脉冲能量¹	12	mJ
zui大稳定输出能量	10	mJ
脉宽²	5	Ns
光斑尺寸（V*H）	4*6	mm
光束发散角（V*H）	1*2	mrad
能量稳定性	<2	%
尺寸（LWH）	540470370	mm
重量	60	kg
制冷	风冷
供电要求	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

在低重复频率下测量，应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
典型值，半高全宽（FWHM）

关键词：真空泵

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