一、仪器的功能及用途
能够在大气环境下准确地测量样品表面台阶变化；使用金刚石（钻石）探针接触直动式测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。
二: 仪器的配置及主要技术指标
1. 标准配置
1）接触直动式台阶仪主体
2）放大器
3）电脑以及相应中文版测量软件
4）打印设备
5）金刚石触针
6）CCD以及观测装置
2．主要性能指标
一、测定工件
v 1.工件尺寸：φ160mm
2.工件厚度：50mm
3.工件重量：2Kg
二、检出器
1.Z方向测定范围：Max.600μm
2.Z方向分辨率：0.1nm
3.测定力：1mg ~ 50mg
4.探针半径：2μm
v 5.检测驱动方式：直动式
v 6.再现性：0.2nm（1μm台阶仪下）
三、X轴
v 1.移动量（测长）：100mm
v 2.移动真值度：0.2μm/100mm
3.移动、测定速度：0.005 ~ 20mm/s
v 4.线性尺（linarscale）：分解能0.1μm
四、Z轴
1.移动量：50mm
2.移动速度：max.2mm/S
3.检出器自动停止机能
4.位置决定分解能：0.1μm
v 5.线性度：±0.25%
五、工件台
1.工件台尺寸：φ160mm
2.机械手动倾斜：± 2℃(±５mm/160mm ）
六、工件观察：max.110倍（可选其他高倍率CCD）
v 七、床台：花岗岩石材质（120KG机台，低重心）
八、电源：AC100V±10%,50/60HZ, 300VA
九、机台外观尺寸及重量：W494×D440×H630mm,120kg
