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专注微小流量测量微气体质量流量计
微气体质量流量计的概述：
采用关键矽微机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS（ Microelectromechanical systems）气体质量流量计和流量控制器，主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。
该产品能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需要温度压力补偿。
微气体质量流量计的技术参数：
2.1 测量介质：各种气体（乙炔气和混合气体除外）
2.2 流量范围：DN3 30-300ml/min
DN6 60-600ml/min
DN8 80-800ml/min
DN10 100-1000ml/min
注：
a)以上流量的测量介质为空气而言；
b)以上流量的标准状态20℃，101.325kPa。
c) 每个口径量程范围均可扩大
d)特殊需要可单独标定
2.3 流量测量准确度：±1.5%FS；±2.5%FS
2.4 工作温度范围：0-55℃；
2.5 工作压力范围：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
2.6 供电电源：24VDC±10%；
2.7 输出信号：4-20mA，RS485通讯；
2.8 环境温度：0-55℃；
2.9 显示位数：瞬时流量为三位，累积流量10位。
微气体质量流量计的型号命名
MF? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | |
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| 接头类型 | 0：普通 |
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| 1：Swagelok接头 | ||
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| 2：其他 | ||
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| 连接形式 | 0：快速接头 | |
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| 1：法兰式 | |||
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| 标定方式 | 0：空气 | ||
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| 1：氢气 | |||
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| 2：氧气 | |||
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| 3：氮气 | ||||
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| 品种 | 01：有显示；有485通讯口；有4-20mA输出 | |||
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| 02：有显示；有485通讯口；无4-20mA输出 | ||||
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| 03：有显示；无485通讯口；有4-20mA输出 | ||||
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| 04：有显示；无485通讯口；无4-20mA输出 | ||||
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| 05：无显示；有485通讯口；无4-20mA输出 | ||||
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| 06：无显示；无485通讯口；有4-20mA输出 | ||||
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| 材质 | 0：304不锈钢 | ||||
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| 1：316不锈钢 | |||||
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| 2：316L不锈钢 | |||||
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| 3：铝 | |||||
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| 4：其他 | |||||
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| 压力 | 0：≤0.3Mpa | |||||
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| 1：≤0.6Mpa | ||||||
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| 2：≤1.0Mpa | ||||||
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| 被测介质 | ||||||||
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| 流量范围 | ||||||||
| 产品通径 | 03：DN3 | ||||||||
| 06：DN6 | |||||||||
| 08：DN8 | |||||||||
| 10：DN10 | |||||||||
产品类型 | M：质量流量计 | |||||||||
C：质量流量控制器 | ||||||||||
专注微小流量测量微气体质量流量计的机械尺寸
L | D | H | G | |
DN3 | 74 | 30 | 127 | G1/8 |
DN6 | 74 | 30 | 127 | G1/4 |
DN8 | 90 | 30 | 127 | G3/8 |
DN10 | 130 | 35 | 127 | G1/2 |
