DektakXT 探针式表面轮廓仪（台阶仪）

DektakXT®探针式轮廓仪革命性的突破设计创新，实现了垂直高度重复性高达4埃，数据采集能力提高了40%。这一里程碑的创新和突破，使得DektakXT实现了纳米尺度的表面轮廓测量，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。

技术创新四十余载，不断突破用攀高峰

Dektak品牌是基于微处理器控制的轮廓仪，实现微米测量的台阶仪，可以达到3D测量的仪器，个人电脑控制的轮廓仪，全自动300mm台阶仪。现在，全新的DektakXT延续了这种开创性的风格，成为世界*台采用具有具有单拱龙门式设计，配备D摄像机，并且利用64位同步数据处理模式完成较佳测量和操作效率的台阶仪。

提高测量和数据分析速度

采用高速的直接驱动扫描样品台，DektakXT在不牺牲分辨率和基底噪音水平的前提下，大大缩短了每次扫描的间隔时间，将数据采集处理的速度提高40%。另外，DektakXT采用布鲁克具有64位数据采集同步分析的Vision64，可以提高大范围3D形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快数据滤波和多次扫描数据库分析的速度。

提高操作的可重复性

使用单拱龙门结构设计更坚硬持久不易弯曲损坏，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响。DektakXT会把系统和环境噪音引起的测量误差降到较低，能够更稳定可靠的扫描高度小于10nm的台阶，获得其形貌特征。

完善的数据采集和分析系统

与DektakXT的创新性设计相得益彰的配置是布鲁克Vision64操作分析软件。Vision64提供了操作上较实用简洁的用户界面，具备智能板块，可视化的使用流程，以及各种参数的自助设定以满足用户的各种使用要求，快速简便的实现各种类型数据的采集和分析。

简便易行的实验操作系统

DektakXT新颖的探针的部件自动对准装置，可以尽量避免用户在装针的过程中出现针尖损伤等意外。为尽可能满足所有应用的需求，布鲁克提供各种尺寸的标准探针和特制探针。

高效率的保证

DektakXT的测量重复性为工程师们提供准确的薄膜厚度和应力测量，使其可以精确调节刻蚀和镀膜工艺来提高产品的优良率。