名称 | 参数 |
抽气速率 | 40m3/h |
极限真空度 | 133Pa |
压缩机排气量 | 15m3/h |
储气罐容积 | 300L |
回收终压 | 1000~5000Pa |
净化 | 微水<80PPm 微尘<1微米 油雾<2PPm |