性能指标
- 扫描时最小正压力: 0.03mg (软件可编程选择和自动控制,无需手动) 。
- 一台设备需具有大量程和小量程双探测器的新设计,即在大量程1.2mm选件时不丢失仪器的分辨率0.38 ?和精度5 ?（1μm台阶标样）。
- 垂直分辨率: 0.38 ?。
- Z测量重复精度:保证 5? 重复性(1 μm台阶标样) 均在0.03 mg超微力下，2 μm探针及无防震台下验收。
- 垂直测量范围: 1200 μm。
- 样品需具有双向扫描测量的功能,方便定位和扫描。
- 采样点数400,000。
- 线性扫描方式,无需校正抛物线型; 扫描长度50 μm-55 mm可以拼接扫描200 mm;扫描速度0.01-0.4 mm/s。
主要应用
- 半导体，光伏/太阳能，光电子，化合物半导体，OLED，生物医药，PCB封装等领域的薄膜厚度, 台阶高度及坑深
样品要求
- 不能被测试的样品种类： 表面被严重污染的样品；表面含有疏松物质的样品；表面有粘稠物质的样品；有化学毒性和生物毒性的样品；含有未反应单体的高分子材料。
- 样品外形/尺寸/台阶或坑深： (1) 片状或块状：尺寸大小直径应小于15 cm，高度应小于25 mm; (3) 坑深及台阶高度范围：10 nm-1200 μm; 凹坑的宽深比必须超过1;
- 送样时注意事项： (1) 送样品时，请附送打印的预约单； (2) 待测样品表面事先使用高纯水或有机试剂超声清洗，或采用高纯氮气吹扫样品表面的方式去除表面附着的颗粒灰尘； (3) 使用带盖的清洁玻璃器皿盛装刚刚清洁过的样品； 或将清洁过的样品用干净铝箔包裹后放入清洁塑料袋。不建议使用纸袋盛装样品，以免纸上的纤维污染样品表面； (4) 可以采取在待测表面的背面画上“X”的方式标记出测试面。样品袋上或器皿背面请标上送样人姓名和； (5) 在预约单上，务必写明分析测试的要求，如：待测台阶高度，或凹坑深度；尽可能提供样品的待测结构及其尺度范围，以及待测结构在样品表面的大概位置等信息。
仪器说明
- 设备名称：台阶仪。台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器，其测量原理是：当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷或者凹坑，触针在滑行的同时沿测试样品表面作上下运动，触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。
