气体质量流量计M***030A 产品亮点: |
-类 型:MFM气体质量流量计 -控制范围:10sccm ~ 30slpm (sccm:标准毫升/分 slpm:标准升/分) -准度等级: ±1% F.S -耐 压:≤90bar -标准接口:0-5VDC,4-20mA可选 -响应时间:≤2sec -使用范围:2~99% for max range -供电电源:+15~+28Vdc, 350Ma -漏 率:1×10-9atm·cc/sec -气路连接:1/4”SWG,1/8”SWG,3/8”SWG,1/4”VCR |
-适用介质:所有气体(含腐蚀性气体和有毒气体) |
产品型号 | M***030V | M***030A |
流量范围 (N2) | 10sccm ~ 30slpm | 10sccm ~ 30slpm |
响应时间 | ≤2秒 | ≤2秒 |
准确度 | ≤±1% 满量程 | ≤±1% 满量程 |
重复精度 | ≤±0.25% 满量程 | ≤±0.25% 满量程 |
输出输入信号 | 0~5Vdc | 0~5Vdc或4~20毫安 |
供电 | +15~+28Vdc,350毫安 | +15~+28Vdc,350毫安 |
耐压 | ≤90 bar | ≤90 bar |
工作环境温度 | 0~50 °C | 0~50 °C |
应用领域:
-分析仪器 -干刻(RIE/DRIE) -燃料电池
-生物技术 -气相色谱分析 -等离子刻蚀
-激光焊机 -混气配气系统 -微反应装置
-真空镀膜 -过程自动化 -石化工业