MS1000是专为惯性应用而设计的同类电容式体硅MEMS加速度计。其优异的长期零偏和比例因子重复性，低运行偏差，优异的振动行为（VRE）和低噪声，可用于非常精确和具有成本效益的战术级测量。内部电子电路集成了一个具有差分模拟±2.7V输出的信号调理器，一个内置自检和一个温度补偿传感器。
单轴模拟加速度计MS1000产品特点:
运行中偏置稳定性: 15 µg
非线性: ±0.3% FS
优异的长期零偏重复性: 1.2mg
恶劣环境中的可靠性
低噪声: 34 µg/√Hz
LCC20, 密封包装
重要参数, 典型值 MS1002 MS1005* MS1010 MS1030* MS1100* Unit 加速度全量程 ± 2 ± 5 ± 10 ± 30 ± 100 g 剩余偏置建模误差 0.14 0.35 0.7 2.1 7.0 mg 长期零偏重复性 0.24 0.6 1.2 3.6 12.0 mg 运行中偏置稳定性 3 7.5 15 45 150 µg 剩余比例因子建模误差 120 120 120 120 120 ppm 比例因子敏感性 1350 540 270 90 27 mV/g 轴不对准 10 10 10 10 10 mrad 分辨率(1Hz) 7 17 34 102 339 µgrms 非线性 (IEEE norm) 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 % FS 运行功耗 -40 to +125 -40 to +125 -40 to +125 -40to+125 -40 to +125 °C 尺寸 9 x 9 9 x 9 9 x 9 9 x 9 9 x 9 mm2
