| | 设备简介： NBD-CVD1200系列一体机采用制造工艺，从美学艺术角度出发根据人体安全的角度设计，控制系统采用*的PLC+触摸屏操控系统，操作更加简单方便。温度控制采用*的PID模糊控制，使控温精度保持在±1℃。适用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等试验。 | ||
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| | 1.炉体与控制系统集成一体化，使试验方便快捷直观。 2.配有多路质量流量计混气气路，可以单独设置气体流量。 3.精确PID程序多段控制，实现不同工艺多段温度时间监控。 4.炉衬采用高纯氧化铝轻质纤维材料，保温效果。 5.配备机械泵和分子真空泵，可以实现高真空条件。 | ||||||||||||
| 产品型号 | NBD-CVDO1200 | ||||||||||||
| 炉管直径 | Φ50、φ60、φ80、φ100 (可自选) | ||||||||||||
| 工作温度 | ≤1100℃ | ||||||||||||
| 温区选择 | 单温区 | 双温区 | 三温区 | ||||||||||
| 加热区尺寸 | 440mm | 200mm + 200mm | 200mm + 400mm + 200mm | ||||||||||
| 电器规格 | AC220V 4KW | AC220V 5KW | AC220V 8KW | ||||||||||
| 升温速率 | 建议 10℃/min | ||||||||||||
| 控制系统 | | ||||||||||||
| 气体系统（可选购） | 流量计类型 | 浮子流量计 | 质量流量计 | ||||||||||
| 管道示意图 | | | |||||||||||
| 进气接口数量 | 2、3、4（多路可选） | ||||||||||||
| 流量范围 | 20-250/20-800ml/min(多量程可选) | 50/100/200sccm(多量程可选) | |||||||||||
| 工作压差范围 | 0-0.15MPa | ||||||||||||
| 低真空系统（可选购） | 真空泵型号 | NBD-1.5C | NBD-3C | NBD-4C | |||||||||
| 抽气速率 | 1L/s | 3L/s | 4L/s | ||||||||||
| 进排气口尺寸 | Φ8mm宝塔接头 | Φ8mm宝塔接头 | KF16/25 | ||||||||||
| 极限压力 | 1000Pa | 100Pa | 10Pa | ||||||||||
| 工作温度 | 5-40℃ | ||||||||||||
| 电气规格 | AC220V | ||||||||||||
| 高真空系统（可选购） | 真空泵型号 | NBD-103(A) | NBD-103(B) | NBD-103(C) | |||||||||
| 抽气速率 | 110L/s | 600L/s | 700L/s | ||||||||||
| 真空测量计 | 复合真空计 | ||||||||||||
| 极限压力 | 10^-3Pa | 10^-4Pa | 10^-5Pa | ||||||||||
| 工作温度 | 5-40℃ | ||||||||||||
| 电气规格 | AC 220V | AC 220V | AC 380V | ||||||||||
| * 支持非标定做，更多型号，欢迎来电垂询 | |||||||||||||
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