实验用8kg多晶硅铸锭炉
型号:ZT-40-16D
详细描述:
一、研发背景
应浙江大学硅材料国家重点实验室要求,本公司新研发了一台小型实验室专用多晶硅铸锭炉,此设备具有如下特点:
1.具有当今市场主流铸锭炉的一切功能,包括实现全自动运行。
2.具有生产周期短,能耗低,实验成本节约的特点。
3.增加了部分新功能,除铸锭以外,还实现部分提纯功能。
二、技术参数
1.功率:40KW
2.坩埚容量:标准10英寸
3.高温度:1550度
4.极限真空度:10-1Pa
5.保温罩上移距离:200mm
6.炉底大位移:800mm
7.进出料方式:炉底进出
8.加热元件:石墨管加热
9.保护功能:除了超压自动泄压、漏硅声光报警、更有的漏硅保护措施,确保操作安全。
10.常用温度:1550℃
11.高温度:1600℃
12.控制方式:可控硅调功+大电流变压器
13.控温精度:±3℃
14.石英坩埚尺寸:198×198×200mm(L×W×H)
15.铸锭重量:2-8KG
16.保温桶大位移:200mm
17.空炉冷态极限真空度:≤6.67×10-1Pa
18.保温层移动速度:0.5-25mm /小时(可调)
19. 空炉冷态压升率:≤2 Pa/h