测量重复性为±20nm;
低阿贝误差;
对湍流和大气压强的变化不敏感;
分辨率可选20nm;
易于安装;
栅格和探头之间的间隙为12mm;
对准误差低;
可选真空版本;
完善技术支持,可定制;
标准的A-quad-B 输出;
低成本的超精密XY计量系统。
高精度低成本的位置控制;
实时校准;
精密金刚石车削实验室;
镜头自动对焦;
NG-B | |
系统性能 | |
重复性 | ±20nm |
精度(175mm×175mm)1 | ±200nm 满量程 |
精度(380mm×380mm)1 | ±1.0um 满量程 |
1(温度变化±0.25℃) | |
速度2 | 1400mm/s |
2(V-MAX=[边缘频率] X [LSB]) | |
编码器到探头间距 | 12.0±0.1mm |
测量区域 | 40×45mm, 150×150mm |
工作温度 | +10°C~+40°C |
存储温度 | –20°C~+70°C |
NG探头 | |
外形尺寸 | 23.5×47.0×60.5mm |
外壳材料 | 6061-T6铝 |
光源(785nm) | Class IIIb,3mw,激光二极管 |
重量(不包括线缆) | 110g |
接口线缆 | 3m,15针接头 |
双轴POLARFLASH处理器(A-quad-B) | |
分辨率(可选) | LSB=5um÷2N;N=5,6,7,8; |
边缘频率(可选) | 1.25,2.5,5,10MHz |
数据传输时间 | <4us< span=""> |
输出格式 | A-quad-B差分TTL/每根轴 |
外形尺寸 | 127mm X 84mm X 24mm |
输出格式 | 32位并行字 |
供电 | +5DVC(±0.25V)@350mA |
NG编码器 | |
间距(机械/光学) | 10 μm / 5μm |
钠钙膨胀系数 | 7.0 × 10-6/°C |
石英(熔石英)膨胀系数 | 0.7 × 10-6/°C |
如果想采用其他材料,请咨询工厂 |
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