产品简介
IDM-HP01 微热板芯片是基于MEMS加工工艺制造出来的微加热器件,用于MEMS气体传感器。采用*的悬梁微结构,其特点是小体积、功耗低,可靠性高。此款微加热器集成微型加热器和叉指电极,微型加热器用于为气体传感器提供合适的工作温度,叉指电极用于检测气敏材料的电阻变化。
微加热器优点
小体积、低功耗、可靠性高。
产品参数
产品型号 | IDM-HP01 |
产品类型 | MEMS微加热器 |
常温电阻 | 300±30Ω |
加热材料 | Poly Si |
测试电极材料 | Pt |
加热电压 | ≤3.3V |
温度曲线
注意事项
1. 请勿触碰MEMS芯片表面中心区域,会造成不可逆转的损坏;
2. 工作电压建议小于等于3.3V;
3. 芯片贴装时,注意静电防护;
4. 温度与电压关系图中的温度是由红外热像仪测量的,数值仅供参考。