业务介绍
一、公司简介
深圳市天铉真空技术有限公司是一家集半导体配件供应、真空设备销售与专业维修服务于一体的综合性企业。公司在质量流量计领域拥有近40年销售与服务经验，配备专业工程师团队，提供从产品选型、参数咨询到售后跟踪的全流程支持。所有售出设备均享有一年免费保修期，并可提供全套校准证书。
MKS流量计故障维修保养，无论是深圳还是无锡，24小时应急上门抢修，可提供备用流量计！
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二、主营品牌
公司代理及服务覆盖以下主流品牌：
HORIBA、MKS、BROOKS、UNIT、AERA、MYKROLIS、MILLIPORE、SAM、STEC、CTI、莱宝（oerlikon / Leybold）、AE / 霍廷格 / 赛恩（电源及射频匹配器）、NIKON（尼康光刻机备件及维修）
三、主要产品线
1.质量流量计与控制器
- 销售MKS系列流量计（含DLTNA3-33135等型号的专业维修）
- BROOKS远程显示器模块、控制OB8（iso200接口，有现货）
- 全套校准证书支持，一年质保
2.半导体耗材与备件
- 半导体过滤器、光刻胶过滤器（如CWFG00403）及滤芯（如WGGB06S02）
- MKS真空计、英福康（INFICON）真空计及其他进口控制器
3.低温冷泵（CTI/Brooks/莱宝）
- 供应及维修：美国Brooks/CTI CT-8系列、CTI OB/Cryo8、莱宝COOLVAC系列（含10000iCL、1500 iCL-V等型号）
- 提供LF-F/LV-F系列莱宝真空低温泵专业维修服务
4.尼康（NIKON）光刻机备件与维修
- 常用马达：ulhaber minimotor系列（速比173:1、30.7:1、41:1等）；stage motor（YASKAWA）、bellows motor、chiba precision motor，用于wafer loader及wafer stage各部位控制
- 常用手臂：fetch arm、load/unload arm
- 卤素灯：NIKON及USHIO品牌
- 光学部件：LSA HE-NE激光管、激光干涉计（interferometer）
- 其他备件：各类电路板等
- 维修服务：电路板以坏换好
四、莱宝（Leybold）低温泵技术说明
工作原理
莱宝COOLVAC系列低温泵属于气体捕集泵，工作压强范围为10⁻³ mbar 至 ≤ 10⁻¹¹ mbar（即 0.75×10⁻³ 至 ≤0.75×10⁻¹¹ Torr）。其原理是将气态物质通过低温冷凝与低温捕集到泵内冷表面。冷表面（低温板）需冷却到极低温度，根据冷却系统不同，可分为制冷机低温泵、贮槽式低温泵和蒸发器低温泵。莱宝公司产品均采用制冷机冷却方式。
核心优势
- 超高抽速：对所有气体均有高抽速，尤其对水汽抽速优异；相同法兰口径下，抽速为所有高真空泵中最大
- 无油无振动：真空侧无机械活动部件、无润滑油或脂，适用于10⁻³ 至 ≤10⁻¹¹ mbar范围的无烃真空环境，且对外部振动不敏感
- 结构紧凑：抽速大于1500 L/s时仍比同规格其他高真空泵更小巧
- 使用便捷：仅启动和再生期间需前级泵；易于实现计算机控制
- 高性价比：尤其在大抽速应用场景下，使用成本更低
冷却与结构设计
莱宝低温泵采用自产COOLPOWER双级冷头（Gifford-McMahon原理） 冷却：
- 一级冷头（约45~80K）：冷却热辐射防护屏及障板（铜质，经抛光处理），用于冷凝水蒸汽
- 二级冷头（约10~20K）：冷却冷伞（高导热铜材），用于冷凝氮气、氧气、氩气；冷伞上部覆盖活性炭，用于吸附氢气、氖气、氦气
安全与再生
- 安全阀：所有COOLVAC系列低温泵标配安全阀（UHV型为爆破膜），出厂设定开启压力150 mbar（113 Torr），并配有DN 40 KF法兰接口，可连接排气管线以安全排出有害气体。
- 再生方式：
- 非电控再生：通过吹入干燥预热惰性气体（如氮气）加热至室温，但温度不可控，无法全部排除氢氧共存风险，需依靠惰性气体稀释防爆
- 全自动加热再生（莱宝推荐）：通过电加热器精确控制一、二级冷头升温至室温，使吸附气体按顺序（氢气→氦气→氖气→氮气→氧气→氩气）连续释放，安全可控
多泵组合与特殊型号
- 多泵组合：一台COOLPAK 6000HD压缩机可同时驱动两个以上冷头或低温泵，显著降低投资与运行成本，节约空间
- 特殊定制：可提供航天环境模拟用大口径液氮辅助制冷泵（如CV30000BLN2、CV60000BLN2）
- 全系列覆盖：COOLVAC BaseLine系列提供从1500 L/s 到 60000 L/s的全产品线，命名规则统一
五、典型应用领域
- 蒸发镀膜设备
- 溅射系统
- 离子注入机
- 光学镀膜机
