XPS-7 半导体特气检漏仪 特 点: | |||||
只要更换传感器单元就可以检测对象气体 | |||||
用盒式传感器单元无需进行检测器校正 | |||||
大幅度削减成本和维护时间 | |||||
XPS-7 半导体特气检漏仪 规 格: | |||||
型 号 | XPS-7 | ||||
检测原理 | 定电位电解式 | ||||
检测气体对象 | 半导体材料气体 | ||||
指示范围 | 根据规格 | ||||
分 辨 率 | 实现满量程的百分之一 | ||||
指示精度 | FS±10%以内 | ||||
报警模式 | 2段报警方式 | ||||
报警方式 | 蜂鸣器间歇音、报警灯闪烁 | ||||
应答时间 | 60秒以内60%应答 | ||||
电 源 | 5号碱性干电池4节或AC变压器 | ||||
电池使用时间 | 连续12小时以上 | ||||
外型尺寸 | W762×H150×D128除去突起物 | ||||
检测方式 | 泵吸式 | ||||
使用温度范围 | 0℃~40℃ | ||||
重 量 | 约1.3kg | ||||
附 件 | 肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤纸两张 | ||||
选 购 件 | AC变压器、传感器通电台、数据收集配套元件 | ||||
XPS-7检测气体一览表: | |||||
型号 | 气体 | F.S | 型号 | 气体 | F.S |
XPS-7NH | NH3 | 100ppm | XPS-7GH | GeH4 | 1ppm |
XPS-7SH | SiH4 | 25ppm | XPS-7CL | CL2 | 5ppm |
XPS-7DC | SiH2CL2 | 25ppm | XPS-7CF | CLF3 | 1ppm |
XPS-7AS | AsH3 | 250ppm | XPS-7HC | HCL | 25ppm |
XPS-7PH | PH3 | 1ppm | XPS-7HF | HF | 10ppm |
XPS-7BH | B2H6 | 500ppm | XPS-7HB | HBr | 10ppm |
XPS-7SE | H2Se | 250ppm | XPS-7NO | NO | 100ppm |
XPS-7HS | H2S | 50ppm | XPS-7F2 | F2 | 5ppm |
XPS-7CO | CO | 250ppm | XPS-7OZ | O3 | 1ppm |
XPS-7DS | Si2H6 | 25ppm | |||
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